中科仪(920186) 投资要点： 中科仪是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，主营业务涵盖干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售及相关技术服务。公司起源于20世纪50年代中国科学院下属真空科研单位，实际控制人为中国科学院控股有限公司，国家集成电路产业投资基金为公司第二大股东。干式真空泵为公司主要收入来源，主要客户覆盖长江存储、长鑫科技、中芯国际、北方华创、隆基绿能等头部企业。 干式真空泵行业受半导体、光伏及大科学装置需求拉动，国产替代加速，市场空间持续扩大。全球集成电路市场规模预计2026年将增至8,743亿美元，中国大陆半导体设备市场已连续四年成为全球最大市场，2024年市场规模达 495.5亿美元。据测算，2024年全球集成电路领域干式真空泵需求约12.57万台，市场规模约125.74亿元；中国大陆需求约5.21万台，市场规模约52.11亿元。光伏产业在"双碳"目标驱动下中长期向好，2024年我国光伏新增装机277.57GW。全球干式真空泵市场长期由英国Edwards、日本Ebara等外资巨头垄断，但国产厂商正加速追赶。此外，我国科研经费投入持续高速增长，2024年全社会研发投入达36,130亿元，国家重大科技基础设施建设进入快速发展期，为真空科学仪器带来巨大市场需求。 中科仪是国内半导体真空装备龙头，具备显著的技术积淀与市场竞争优势。公司是国内唯一在集成电路先进制程实现干式真空泵批量应用的国产企业，也是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业，产品满足14nm先进逻辑芯片及128层以上3DNAND存储器工艺需求，已在中芯国际、长江存储、台积电、SK海力士等国内外领先企业实现大批量应用或小批量出货，打破欧美及日本企业长期垄断。公司拥有真空技术装备国家工程研究中心等三个国家级研发平台，构建了包含1500多项生产工艺的应用方 案数据库，集成电路领域干式真空泵出货量超3万台。公司已形成沈阳、南地架构，2025年产能达10,000台，募投项目达产后总产能将达2.65 万台。同时，公司是国内具备整合SUBFAB全类型设备数据能力的龙头企业，客户验证周期长、门槛高所形成的客户资源壁垒显著，全方位服务体系与高素质人才团队支撑公司持续发展。 估值分析和投资建议：公司是国内半导体真空装备龙头，唯一实现先进制程批量应用的国产企业。公司近三年营业收入持续稳步增长，2023-2025年营业务收入分别为8.52、10.82、12.91亿元，复合增长率达22.75%，主要得益于公司产品市场竞争力较强叠加行业发展景气，干式真空泵产品销量快速增长。扣非后归母净利润分别为0.73、0.88、1.03亿元，持续增长。公司可比公司中拓荆科技、华海清科、北方华创、中微公司、芯源微、京仪装备2025年PE/2025年PE（扣非后）分别为118.17/未披露、62.06/69.71、59.12/61.18、91.71/124.95、497.14/-1971.03、123.62/158.72倍，均值为84.13/114.95倍。公司发行后股本为23,383.91万股，发行价对应发行后市值为36.28亿元，对应2025年PE/2025年PE（扣非后）为4.30/35.23倍，相较于可比具备较大的折价。 风险提示：技术和产品研发风险；市场竞争加剧的风险；国际贸易摩擦的风险；持有上市公司股份股价波动造成的经营业绩波动风险；经营业绩下滑的风险；产品尚未覆盖部分先进制程中等、苛刻工艺环节产生的风险；存货跌价风险。

中科仪(920186) 投资要点 中科仪：国内干式真空泵集成电路领域出货量最大，唯一实现先进制程批量应用的国产企业。中科仪作为中国科学院下属企业，长期专注于洁净与超高真空技术研发，是国内领先的半导体核心部件及真空科学仪器供应商。公司干式真空泵已满足14nm逻辑芯片及128层以上3D NAND工艺要求，在国内主流晶圆厂批量应用，出货量居国产厂商首位，并进入台积电、SK海力士等知名厂商供应链；同时为北京正负电子对撞机、上海光源等11项国家重大科技基础设施提供关键真空组件，在科研级MBE设备领域保持领先地位。公司产品广泛应用于半导体、光伏、科研等领域，具备自主可控的全链条制造能力。 国家战略支持叠加自主化加速，半导体零部件及科学仪器领域前景广阔。在半导体产业自主化与清洁能源转型驱动下，干式真空泵作为集成电路及光伏制造核心设备，迎来国产替代与市场扩容双重机遇。1）集成电路领域：2024年全球市场规模达125.74亿元，中国大陆达52.11亿元，受益于先进制程扩产与国产设备导入。2）光伏领域：2024年中国市场规模约47.0-57.2亿元，晶硅电池生产中晶体生长与电池片制造工序形成稳定需求，受新增装机高增长及技术迭代带动设备更新。 自主核心技术与先进制程批量应用优势，受益半导体设备国产替代红利。1）多领域产品矩阵：形成了以高端干式真空泵为核心、多品类协同的产品体系，其中，干式真空泵产品主要为罗茨干泵，广泛支持国内外主流设备厂商机台；真空薄膜仪器设备产品主要包括PVD、CVD设备，主要面向高等院校、科研院所等科研机构进行薄膜材料的研究与小批量制备；并向高能物理大科学装置提供前端区、光束线、波荡器、真空互联及传输系统等关键部件。2）行业领先地位：牵头或参与编制13项国家、行业与团体标准，2024年公司在集成电路领域干式真空泵收入达6.63亿元，测算国内市场占有率约12.72%，为国产厂商中最高。产品已大批量导入国内知名半导体设备厂商及光伏厂商，经过长期产线运行验证，具备高可靠性与工艺适配能力。3）募投项目赋能成长：募投项目建成后将形成年产2万台干式真空泵的生产能力，实现物流移动50%自动化，90%以上加工产线的自动化及智能化；并建设高端半导体设备生产、研发及配套设施，布局集成泵组系统与大尺寸分子束外延设备，丰富产品矩阵。 风险提示：1）市场竞争加剧；2）国际贸易摩擦；3）持有上市公司股份股价波动。4）新股价格波动较大。

中科仪(920186) 投资要点 推荐逻辑：1）我国是全球集成电路产业最主要的市场之一，国内晶圆厂产能预计将从2020年月产490万片提升至2030年的1410万片。干式真空泵作为集成电路各工艺环节构建真空环境的核心关键设备，其市场需求将随晶圆厂产能持续扩张而稳步增长；2）公司是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，产品性能与海外龙头基本持平。2024年公司在集成电路领域的干式真空泵收入为6.6亿元，在国内半导体领域市占率约为12.7%；3）募投项目将扩产干式真空泵，并布局新一代产品，有望进一步提升公司核心竞争力与市场地位。 营收快速增长，非经常性损益占比偏高。公司是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。2023-2025年，公司营收由8.5亿元增长至12.9亿元，年化复合增长率达23.2%。受益于半导体真空装备国产化替代加速及科研仪器需求释放。2023-2025年，公司非经常性损益净额分别为5.3亿元、1.0亿元和7.4亿元，占归母净利润的87.8%、54.4%和87.8%。公司公允价值变动损益波动较大，主要原因是公司持有上市公司拓荆科技、中科信息股份，2025年公允价值变动收益为7.5亿元，同比增长9207.2%。 公司产品国内领先，产品性能与国际竞争对手基本持平。在干式真空泵领域，公司是向集成电路产业出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业。公司的主流产品型号与国际竞争对手对标产品在关键性能指标方面基本处于同一水平。公司集成电路主要客户包括长江存储、长鑫存储、中芯国际、鹏芯微/鹏新旭以及北方华创。目前老客户复购率良好，新客户如台积电、SK海力士等国内外晶园制造企业也在逐步拓展中。 募投项目扩产并布局新一代产品，增强公司核心竞争力与市场份额。公司拟募集资金共8.25亿元，其中2.3亿元投入干式真空泵产业化建设项目，4.7亿元投入高端半导体设备扩产及研发中心建设项目，1.2亿元投入新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目。若本次募投项目顺利投产，2030年预计达产并实现销售收入25.25亿元。假设公司2030年实现收入中80%来自集成电路用干式真空泵，则2030年公司在国内集成电路领域干式真空泵的市占率为24.15%。 盈利预测与投资建议。本次公司发行价为16.21元/股，对应发行后2025年PE（扣非归母）约为35.23倍。当前可比公司PE（TTM）平均值约为162.26倍，PE（TTM，扣非）平均值约为112.13倍。考虑到公司是向集成电路产业出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业，同时产能扩张支持业绩增长，建议积极关注。 风险提示：技术和产品研发风险、市场竞争加剧风险、国际贸易摩擦风险、持有上市公司股份股价波动造成的经营业绩波动风险、经营业绩下滑风险、产品尚未覆盖部分先进制程中等、苛刻工艺环节产生的风险、存货跌价风险。

中科仪(920186) 投资要点： 中科仪本次发行采用网下询价，申购日为2026年4月20日。公司本次发行数量为5200万股，发行后总股本为22384万股，本次发行数量占发行后总股本的23.23%。经我们测算，公司发行后预计可流通股本比例为45%，老股占可流通股本比例为48.38%。本次发行战略配售初始发行数量为520万股，占本次发行数量的10.00%，相关领域产业资本（兆易创新、屹唐半导体）参与。中科仪此次募集资金将主要用于干式真空泵产业化建设项目、高端半导体设备扩产及研发中心建设项目、新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目，其中干式真空泵产业化建设项目达产后预计新增年产20040台干式真空泵的产能。 中科仪长期专注于真空科研仪器，2025年归母净利润84387万元（yoy+337.77%）。公司专注真空装备这一“硬科技”领域，在洁净真空、超高真空领域形成了大量技术工艺积累，已形成干式真空泵和真空仪器设备两大业务板块，其中干式真空泵是目前半导体和泛半导体领域主流用泵，真空科学仪器设备产品包括用于薄膜制备的仪器设备（PVD、CVD）和用于重大科技基础设施的高能物理真空装置。公司客户主要为集成电路企业、光伏企业、科研院所等，2024年度公司第一/二大客户分别为长江存储/长鑫科技，此外公司近几年主要客户中还有北方华创、中芯国际、隆基绿能、鹏芯微、上海积塔半导体等行业知名企业。2025年公司营收12.91亿元（yoy+19%），归母净利润84386.54万元（yoy+338%）。 2024年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为12.57万台，市场规模约125.74亿元。公司生产的干式真空泵属于通用设备，可广泛应用于传统硅基集成电路晶圆制造、化合物半导体晶圆制造、太阳能电池片制造、锂电池烘干、显示面板生产、生物制药、化工等多个产业。WSTS预计2026年全球集成电路市场规模或增至8743亿美元，较2025年大幅增长28.97%；全球集成电路产业长期稳步增长，带动相关制造设备需求持续扩张，预计2027年晶圆厂设备销售额将达1352亿美元，较2026年大幅增长7.3%；2024年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为12.57万台，市场规模约125.74亿元。此外，IEA数据显示2030年全球光伏新增装机容量在各种电源形式中的占比或将达到70%，亦有望带动对真空泵需求。公司的可比公司为拓荆科技、华海清科、北方华创和中微公司。 申购建议：中科仪长期专注于真空技术及装备、干式真空泵领域，公司的研发创新打破欧美及日本企业的长期垄断，产品已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛支持国内主流晶圆制造企业，并且是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业。截至2026/4/10，可比公司PETTM中值为78X，建议关注。 风险提示：技术和产品研发风险、市场竞争加剧的风险、国际贸易摩擦的风险

中科仪(920186) 真空技术国家队“小巨人”，研发平台夯实壁垒，营收快速增长 公司主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。作为中国科学院下属专注于洁净真空、超高真空技术研究和发展的企业，公司拥有三个国家级研发平台，是我国真空技术及真空类科学仪器攻坚的主力军。公司被评为2020年度、2023年度国家“专精特新”小巨人企业，国家知识产权优势企业等多项荣誉称号，截至2025年12月31日，公司已经获得授权的发明专利103项、实用新型专利20项，并取得软件著作权登记37项。2022-2025年度，公司营业收入整体呈快速增长趋势，2025年公司营收为12.91亿元。受持有股份公允价值变动损益影响，2022-2025年公司的净利润变动较大，剔除这部分影响后，公司扣非归母净利润分别为6,186.11万元、7,298.08万元、8,787.75万元和10,297.96万元。 集成电路+光伏双轮驱动，干式真空泵需求持续高增 公司研制的干式真空泵主要向集成电路、光伏产业销售。根据WSTS预计，2025年全球集成电路市场规模将增至6,779亿美元，较2024年大幅增长25.65%。根据中国半导体行业协会统计数据，2016-2023年中国大陆集成电路产业收入年复合增长率达16.03%。根据中国光伏行业协会统计数据显示，2020-2024年，全球光伏年新增装机容量年均复合增长率达42.10%，我国光伏年新增装机容量年均复合增长率达54.91%。根据公司测算，2024年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为12.57万台，市场规模约125.74亿元；中国大陆集成电路产业对干式真空泵的需求为5.21万台，市场规模约52.11亿元；2024年我国光伏产业对干式真空泵的需求约6.7-8.2万台，按单台均价7万元估算，市场规模约47.0-57.2亿元。 国产干式真空泵龙头企业打破海外垄断，可比公司PE（2024）均值91.39X 公司是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业。干式真空泵领域，公司的研发创新打破欧美及日本企业的长期垄断，已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛支持国内主流晶圆制造企业，以及客户A等国内主流集成电路设备制造企业，并已通过台积电、大连Intel、SK海力士的测试验证实现小批量出货。除硅基半导体外，公司干式真空泵产品也可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备，并已实现批量交付。可比公司PE（2024）均值为91.39X，PE（TTM）均值为126.39X。募投项目预计将扩大干式真空泵产能，同时进一步增强研发能力，丰富公司产品体系，增强产品优势，前景较好。 风险提示：技术产品研发风险、市场竞争加剧风险、经营业绩下滑风险。