序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	王福祥	4503.21	14.37	不变	0.00
2	上海新晖资产管理有限公司	3793.33	12.10	不变	0.00
3	上海新科投资有限公司	2078.81	6.63	不变	0.00
4	孙慧明	1151.00	3.67	不变	0.00
5	全国社保基金一一三组合	920.87	2.94	增加	248.27
6	基本养老保险基金八零二组合	850.81	2.71	增加	374.55
7	金叶飞	686.55	2.19	增加	9.09
8	SIN YANG INDUSTRIES & TRADING PTE LTD	521.63	1.66	不变	0.00
9	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	416.92	1.33	减少	-82.11
10	杨燕灵	404.69	1.29	新进	404.69