| 2027-05-19 | 限售解禁 | 2027-05-19解禁数量30.6万股，占总股本比例0.08%，股份类型：股权激励限售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2027-05-19 | 限售解禁 | 2027-05-19预计解禁数量30.6万股，占总股本比例0.08%，股份类型：股权激励限售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-07-01 | 限售解禁 | 2026-07-01解禁数量347.3万股，占总股本比例0.91%，股份类型：股权激励限售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-07-01 | 限售解禁 | 2026-07-01预计解禁数量347.3万股，占总股本比例0.91%，股份类型：股权激励限售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-05-19 | 限售解禁 | 2026-05-19解禁数量29.7万股，占总股本比例0.08%，股份类型：股权激励限售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-05-19 | 限售解禁 | 2026-05-19预计解禁数量29.7万股，占总股本比例0.08%，股份类型：股权激励限售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2025-07-01 | 限售解禁 | 2025-07-01解禁数量337.1万股，占总股本比例0.88%，股份类型：股权激励限售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2025-07-01 | 限售解禁 | 2025-07-01预计解禁数量337.1万股，占总股本比例0.88%，股份类型：股权激励限售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2025-05-19 | 限售解禁 | 2025-05-19解禁数量29.7万股，占总股本比例0.08%，股份类型：股权激励限售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2025-05-19 | 限售解禁 | 2025-05-19预计解禁数量29.7万股，占总股本比例0.08%，股份类型：股权激励限售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2024-07-01 | 限售解禁 | 2024-07-01解禁数量337.1万股，占总股本比例0.88%，股份类型：股权激励限售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2024-07-01 | 限售解禁 | 2024-07-01预计解禁数量337.1万股，占总股本比例0.88%，股份类型：股权激励限售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2024-05-10 | 股东大会 | 于2024-05-10召开2023年年度股东大会 |
| 2024-04-25 | 一季报预披露 | 于2024-04-25披露2024年一季报 |
| 2024-04-19 | 年报预披露 | 于2024-04-19披露2023年年报 |
| 2024-04-19 | 股东户数 | 截止2024-03-31，公司A股股东户数为16733户，较上期（2023-12-31）增加125户，变动幅度0.75% |
| 2024-04-19 | 年报披露 | 2023年年报归属净利润1.257亿元，同比增长10.41%，基本每股收益0.335元 |
| 2024-04-19 | 股东户数 | 截止2023-12-31，公司A股股东户数为16608户，较上期（2023-09-30）减少419户，变动幅度-2.46% |
| 2024-04-19 | 股票回购 | 计划以5.8373元/股的价格回购7.5万股限制性股票，进度：董事会预案 |
| 2024-04-19 | 分红送转 | 2023年度分配10派1.00元(含税)(董事会预案) |
| 2024-02-22 | 新增概念 | 2024-02-22新增概念：光刻机(胶) |
| 2024-02-22 | 机构调研 | 于2024-02-22接待调研，参与对象：国盛证券，参与方式：特定对象调研 |
| 2023-12-25 | 股东大会 | 于2023-12-25召开2023年第三次临时股东大会 |
| 2023-12-25 | 股东大会 | 于2023-12-25召开2023年第三次临时股东大会 |
| 2023-11-23 | 机构调研 | 于2023-11-22接待调研，参与对象：财通证券等，参与方式：特定对象调研 |
| 2023-11-14 | 股东大会 | 于2023-11-14召开2023年第二次临时股东大会 |
| 2023-11-14 | 股东大会 | 于2023-11-14召开2023年第二次临时股东大会 |
| 2023-10-23 | 股东户数 | 截止2023-09-30，公司A股股东户数为17027户，较上期（2023-06-30）增加3996户，变动幅度30.67% |
| 2023-10-23 | 三季报披露 | 2023年三季报归属净利润8181万元，同比增长10.17%，基本每股收益0.2171元 |
| 2023-08-31 | 机构调研 | 于2023-08-30接待调研，参与对象：东方证券等，参与方式：特定对象调研 |