| 流通市值：419.23亿 | 总市值：419.23亿 | ||
| 流通股本：2.80亿 | 总股本：2.80亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总股本比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2051.63 | 13.22 | 不变 | 0.00 |
| 2 | 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 787.40 | 5.07 | 减少 | -132.96 |
| 3 | 香港中央结算有限公司 | 563.52 | 3.63 | 增加 | 22.52 |
| 4 | 中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 559.77 | 3.61 | 减少 | -22.62 |
| 5 | 中国工商银行股份有限公司-诺安成长混合型证券投资基金 | 473.36 | 3.05 | 不变 | 0.00 |
| 6 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 428.54 | 2.76 | 不变 | 0.00 |
| 7 | 中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 300.20 | 1.93 | 增加 | 0.31 |
| 8 | 中国建设银行股份有限公司-银华集成电路混合型证券投资基金 | 269.45 | 1.74 | 增加 | 21.62 |
| 9 | 国新投资有限公司 | 261.49 | 1.68 | 新进 | 261.49 |
| 10 | 中国建设银行股份有限公司-华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 241.43 | 1.56 | 减少 | -8.78 |