| 流通市值：419.23亿 | 总市值：419.23亿 | ||
| 流通股本：2.80亿 | 总股本：2.80亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总股本比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 5502.67 | 19.67 | 不变 | 0.00 |
| 2 | 国投(上海)创业投资管理有限公司-国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙) | 3788.80 | 13.54 | 不变 | 0.00 |
| 3 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2051.63 | 7.33 | 不变 | 0.00 |
| 4 | 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 787.40 | 2.81 | 减少 | -132.96 |
| 5 | 香港中央结算有限公司 | 563.52 | 2.01 | 增加 | 22.52 |
| 6 | 中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 559.77 | 2.00 | 减少 | -22.62 |
| 7 | 中国工商银行股份有限公司-诺安成长混合型证券投资基金 | 473.36 | 1.69 | 不变 | 0.00 |
| 8 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 428.54 | 1.53 | 不变 | 0.00 |
| 9 | 共青城芯鑫和投资合伙企业(有限合伙) | 302.49 | 1.08 | 不变 | 0.00 |
| 10 | 共青城芯鑫全投资合伙企业(有限合伙) | 302.39 | 1.08 | 不变 | 0.00 |