| 流通市值：77.60亿 | 总市值：144.94亿 | ||
| 流通股本：1.08亿 | 总股本：2.02亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总流通股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 靖江优立佳企业管理合伙企业(有限合伙) | 2057.11 | 18.99 | 减少 | -512.20 |
| 2 | 聚源中小企业发展创业投资基金(绍兴)合伙企业(有限合伙) | 550.47 | 5.08 | 减少 | -19.94 |
| 3 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 292.70 | 2.70 | 不变 | 0.00 |
| 4 | 北京集成电路装备产业投资并购基金(有限合伙) | 260.89 | 2.41 | 不变 | 0.00 |
| 5 | 上海航空产业股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 220.59 | 2.04 | 不变 | 0.00 |
| 6 | 华泰先锋精科家园1号科创板员工持股集合资产管理计划 | 197.16 | 1.82 | 减少 | -188.01 |
| 7 | 中微半导体(上海)有限公司 | 165.74 | 1.53 | 不变 | 0.00 |
| 8 | 长三角(嘉善)股权投资合伙企业(有限合伙) | 148.47 | 1.37 | 新进 | 148.47 |
| 9 | 深圳市创新投资集团有限公司 | 146.35 | 1.35 | 新进 | 146.35 |