| 流通市值：71.33亿 | 总市值：133.23亿 | ||
| 流通股本：1.08亿 | 总股本：2.02亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总流通股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 靖江优立佳企业管理合伙企业(有限合伙) | 1836.21 | 16.95 | 减少 | -90.98 |
| 2 | 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 531.00 | 4.90 | 增加 | 324.23 |
| 3 | 聚源中小企业发展创业投资基金(绍兴)合伙企业(有限合伙) | 292.71 | 2.70 | 减少 | -62.11 |
| 4 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 291.70 | 2.69 | 减少 | -1.00 |
| 5 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 254.70 | 2.35 | 增加 | 61.14 |
| 6 | 上海航空产业股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 220.59 | 2.04 | 不变 | 0.00 |
| 7 | 上海超越摩尔股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 198.59 | 1.83 | 减少 | -22.00 |
| 8 | 中国建设银行股份有限公司-中欧电子信息产业沪港深股票型证券投资基金 | 185.63 | 1.71 | 新进 | 185.63 |
| 9 | 中国建设银行股份有限公司-南方信息创新混合型证券投资基金 | 179.77 | 1.66 | 新进 | 179.77 |
| 10 | 上海浦东发展银行股份有限公司-中欧创新未来18个月封闭运作混合型证券投资基金 | 171.88 | 1.59 | 新进 | 171.88 |