序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	天津芯华投资控股有限公司	4889.03	24.31	减少	-220.88
2	中国时代远望科技有限公司	1990.10	9.90	不变	0.00
3	长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	739.40	3.68	增加	453.57
4	香港中央结算有限公司	708.68	3.52	减少	-210.93
5	王皓	518.37	2.58	不变	0.00
6	李寅	390.00	1.94	减少	-32.00
7	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	355.67	1.77	增加	91.74
8	深圳芯瑞创业投资合伙企业(有限合伙)	273.64	1.36	减少	-35.34
9	中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金	232.98	1.16	增加	21.37
10	易方达竞争优势企业混合型证券投资基金	213.21	1.06	新进	213.21