专用设备 | 246000.58 | 96.81 | 166004.23 | 96.65 | 97.13 | 32.52 |
其中:光伏领域设备 | 243876.58 | 95.97 | 164273.98 | 95.64 | 96.65 | 32.64 |
其中:光伏领域设备-光伏电池片设备 | 243697.81 | 95.90 | 164164.20 | 95.58 | 96.57 | 32.64 |
其中:光伏领域设备-光伏电池片设备-镀膜设备 | 110739.07 | 43.58 | 69645.00 | 40.55 | 49.90 | 37.11 |
其中:光伏领域设备-光伏电池片设备-热制程设备 | 100057.89 | 39.38 | 68368.01 | 39.81 | 38.48 | 31.67 |
其中:光伏领域设备-光伏电池片设备-镀膜设备-LPCVD | 84342.61 | 33.19 | - | - | - | - |
其中:光伏领域设备-光伏电池片设备-热制程设备-硼扩散设备 | 46861.48 | 18.44 | - | - | - | - |
其中:光伏领域设备-光伏电池片设备-热制程设备-氧化退火设备 | 42288.57 | 16.64 | - | - | - | - |
其中:光伏领域设备-光伏电池片设备-自动化及其他设备 | 32900.86 | 12.95 | 26151.19 | 15.23 | 8.20 | 20.52 |
其中:光伏领域设备-光伏电池片设备-自动化及其他设备-自动化设备 | 32435.38 | 12.76 | - | - | - | - |
其中:光伏领域设备-光伏电池片设备-镀膜设备-PECVD | 26396.46 | 10.39 | - | - | - | - |
其中:光伏领域设备-光伏电池片设备-热制程设备-磷扩散设备 | 10907.83 | 4.29 | - | - | - | - |
配套产品及服务 | 7170.47 | 2.82 | 5136.37 | 2.99 | 2.47 | 28.37 |
其中:半导体领域设备 | 2124.00 | 0.84 | 1730.25 | 1.01 | 0.48 | 18.54 |
其中:半导体领域设备-热制程设备 | 2124.00 | 0.84 | 1730.25 | 1.01 | 0.48 | 18.54 |
其他(补充) | 944.09 | 0.37 | 615.17 | 0.36 | 0.40 | 34.84 |
其中:光伏领域设备-光伏电池片设备-自动化及其他设备-多功能机 | 465.49 | 0.18 | - | - | - | - |
其中:光伏领域设备-其他光伏设备 | 178.76 | 0.07 | 109.78 | 0.06 | 0.08 | 38.59 |