| 流通市值：99.87亿 | 总市值：297.05亿 | ||
| 流通股本：1.47亿 | 总股本：4.36亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总流通股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 中国建设银行股份有限公司-银华集成电路混合型证券投资基金 | 507.54 | 3.46 | 增加 | 351.37 |
| 2 | 香港中央结算有限公司 | 487.99 | 3.33 | 增加 | 29.70 |
| 3 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 442.40 | 3.02 | 增加 | 112.12 |
| 4 | 交通银行股份有限公司-工银瑞信新兴制造混合型证券投资基金 | 420.29 | 2.87 | 新进 | 420.29 |
| 5 | 刘俊 | 387.45 | 2.64 | 减少 | -22.00 |
| 6 | 北京集成电路装备产业投资并购基金(有限合伙) | 302.03 | 2.06 | 不变 | 0.00 |
| 7 | 前海人寿保险股份有限公司-分红保险产品 | 282.99 | 1.93 | 不变 | 0.00 |
| 8 | 高建 | 259.48 | 1.77 | 减少 | -5.37 |
| 9 | 中国银行股份有限公司-易方达中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 218.49 | 1.49 | 新进 | 218.49 |
| 10 | 交通银行股份有限公司-工银瑞信主题策略混合型证券投资基金 | 188.54 | 1.29 | 新进 | 188.54 |