| 流通市值：145.03亿 | 总市值：431.38亿 | ||
| 流通股本：1.47亿 | 总股本：4.36亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总流通股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 香港中央结算有限公司 | 458.29 | 3.13 | 减少 | -105.62 |
| 2 | 刘俊 | 409.45 | 2.79 | 减少 | -57.85 |
| 3 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 330.28 | 2.25 | 减少 | -66.76 |
| 4 | 北京集成电路装备产业投资并购基金(有限合伙) | 302.03 | 2.06 | 减少 | -63.82 |
| 5 | 前海人寿保险股份有限公司-分红保险产品 | 282.99 | 1.93 | 新进 | 282.99 |
| 6 | 高建 | 264.85 | 1.81 | 不变 | 0.00 |
| 7 | 中国银行股份有限公司-广发中小盘精选混合型证券投资基金 | 203.90 | 1.39 | 增加 | 10.42 |
| 8 | 上海浦东发展银行股份有限公司-广发小盘成长混合型证券投资基金(LOF) | 173.94 | 1.19 | 减少 | -36.94 |
| 9 | 高盛国际-自有资金 | 157.12 | 1.07 | 新进 | 157.12 |
| 10 | 中国建设银行股份有限公司-银华集成电路混合型证券投资基金 | 156.18 | 1.07 | 新进 | 156.18 |