| 流通市值：56.77亿 | 总市值：98.85亿 | ||
| 流通股本：1.77亿 | 总股本：3.08亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总股本比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 国投(上海)创业投资管理有限公司-国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙) | 4228.57 | 23.90 | 增加 | 1371.43 |
| 2 | 辽宁科发实业有限公司 | 1480.00 | 8.37 | 增加 | 480.00 |
| 3 | 中国建设银行股份有限公司-银华集成电路混合型证券投资基金 | 535.00 | 3.02 | 增加 | 187.76 |
| 4 | 中国建设银行股份有限公司-南方信息创新混合型证券投资基金 | 396.87 | 2.24 | 增加 | 99.59 |
| 5 | 中国农业银行股份有限公司-东方人工智能主题混合型证券投资基金 | 386.05 | 2.18 | 增加 | 180.94 |
| 6 | 中信证券-中信银行-中信证券富创精密员工参与科创板战略配售集合资产管理计划 | 351.32 | 1.99 | 增加 | 113.94 |
| 7 | 中国工商银行股份有限公司-金信稳健策略灵活配置混合型发起式证券投资基金 | 259.00 | 1.46 | 增加 | 90.00 |
| 8 | 青岛浑璞守一私募基金管理有限公司-青岛浑璞高精尖投资中心(有限合伙) | 232.36 | 1.31 | 增加 | 75.36 |
| 9 | 国泰君安证券股份有限公司-国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 198.52 | 1.12 | 新进 | 198.52 |