| 流通市值：472.39亿 | 总市值：614.15亿 | ||
| 流通股本：31.06亿 | 总股本：40.38亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总流通股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 1063.75 | 3.96 | 增加 | 654.73 |
| 2 | UBS AG | 512.35 | 1.91 | 增加 | 303.18 |
| 3 | GOLDMAN SACHS BANK EUROPE SE | 383.55 | 1.43 | 新进 | 383.55 |
| 4 | 华泰证券股份有限公司 | 350.12 | 1.30 | 新进 | 350.12 |
| 5 | 中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 334.92 | 1.25 | 增加 | 31.53 |
| 6 | 上海聚鸣投资管理有限公司-聚鸣瑞仪私募证券投资基金 | 278.73 | 1.04 | 新进 | 278.73 |
| 7 | 国泰海通证券股份有限公司-华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 263.69 | 0.98 | 新进 | 263.69 |
| 8 | 习文祥 | 226.64 | 0.84 | 不变 | 0.00 |
| 9 | MORGAN STANLEY & CO. INTERNATIONAL PLC. | 222.04 | 0.83 | 新进 | 222.04 |
| 10 | 中信里昂资产管理有限公司-客户资金 | 200.04 | 0.74 | 新进 | 200.04 |