序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	柴杰	3199.68	41.89	新进	3199.68
2	柴林	1574.28	20.61	新进	1574.28
3	国投(广东)科技成果转化创业投资基金合伙企业(有限合伙)	483.75	6.33	新进	483.75
4	比亚迪股份有限公司	349.52	4.58	新进	349.52
5	中微半导体设备(上海)股份有限公司	325.27	4.26	新进	325.27
6	北京集成电路装备产业投资并购基金(有限合伙)	257.22	3.37	新进	257.22
7	成都嘉泽和畅企业管理合伙企业(有限合伙)	248.78	3.26	新进	248.78
8	南京嘉田和新企业管理合伙企业(有限合伙)	235.09	3.08	新进	235.09
9	嘉兴鑫纯股权投资合伙企业(有限合伙)	138.42	1.81	新进	138.42
10	铜陵丰睿年晟创业投资合伙企业(有限合伙)	130.01	1.70	新进	130.01