| 流通市值：0.00万 | 总市值：0.00万 | ||
| 流通股本：0.00万 | 总股本：0.00万 |
| 股东名称 | 持股数 (万股) |
占总股本持股 比例(%) |
变动类型 | 变动数量 (万股) |
| 柴杰 | 3199.68 | 41.89 | 新进 | 3199.68 |
| 柴林 | 1574.28 | 20.61 | 新进 | 1574.28 |
| 国投(广东)科技成果转化创业投资基金合伙企业... | 483.75 | 6.33 | 新进 | 483.75 |
| 比亚迪股份有限公司 | 349.52 | 4.58 | 新进 | 349.52 |
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 325.27 | 4.26 | 新进 | 325.27 |
| 北京集成电路装备产业投资并购基金(有限合伙)... | 257.22 | 3.37 | 新进 | 257.22 |
| 成都嘉泽和畅企业管理合伙企业(有限合伙) | 248.78 | 3.26 | 新进 | 248.78 |
| 南京嘉田和新企业管理合伙企业(有限合伙) | 235.09 | 3.08 | 新进 | 235.09 |
| 嘉兴鑫纯股权投资合伙企业(有限合伙) | 138.42 | 1.81 | 新进 | 138.42 |
| 铜陵丰睿年晟创业投资合伙企业(有限合伙) | 130.01 | 1.70 | 新进 | 130.01 |