| 流通市值：31.49亿 | 总市值：42.70亿 | ||
| 流通股本：1.02亿 | 总股本：1.38亿 |
| 持股人姓名 | 变动数量 (股) | 变动比例 (%) | 成交均价 | 变动后持股数 (股) | 变动原因 | 变动日期 | 与高管关系 | 高管姓名 | 高管职务 |
| 华泰晶升装备家园1号科创板员工持股集合资产管理计划 | 2761377 | 1.9957 | 32.52 | 2761377 | 首发上市 | 2023-04-24 | 受控法人 | 李辉 | 董事长,董事,总经理 |
| 华泰晶升装备家园1号科创板员工持股集合资产管理计划 | 2761377 | 1.9957 | 32.52 | 2761377 | 首发上市 | 2023-04-24 | 受控法人 | 李辉 | 董事长,董事,总经理 |