| 流通市值：191.92亿 | 总市值：267.02亿 | ||
| 流通股本：1.21亿 | 总股本：1.68亿 |
| 截至日期 | 股东户数 | 户均持股(股) | 较上期变化(%) |
| 2026-03-31 | 13487 | 12456.44 | -8.35 |
| 2026-02-28 | 14716 | 11416.15 | 12.45 |
| 2025-12-31 | 13087 | 12837.17 | 17.13 |
| 2025-12-10 | 11173 | 15036.25 | 5.87 |
| 2025-11-28 | 10554 | 15918.14 | -2.26 |
| 2025-11-20 | 10798 | 15558.44 | -8.62 |
| 2025-10-31 | 11817 | 14216.81 | -12.86 |
| 2025-09-30 | 13561 | 12388.47 | 85.54 |
| 2025-06-30 | 7309 | 22985.36 | 18.02 |
| 2025-03-31 | 6193 | 27127.40 | -25.72 |
| 股东名称 | 持股数 (万股) |
占总流通股本 持股比例(%) |
变动类型 | 变动数量 (万股) |
| 安徽北自投资管理中心(有限合伙) | 2013.64 | 16.68 | 不变 | 0.00 |
| 中国农业银行股份有限公司-东方人工智能主题混... | 820.00 | 6.79 | 增加 | 425.45 |
| 新华人寿保险股份有限公司-传统-普通保险产品... | 242.49 | 2.01 | 新进 | 242.49 |
| 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备... | 229.74 | 1.90 | 增加 | 113.17 |
| 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材... | 201.30 | 1.67 | 新进 | 201.30 |
| 上海浦东发展银行股份有限公司-广发小盘成长混... | 166.00 | 1.37 | 增加 | 36.80 |
| 嘉兴芯存长志股权投资合伙企业(有限合伙) | 161.49 | 1.34 | 减少 | -38.56 |
| 中国银行股份有限公司-易方达战略新兴产业股票... | 156.12 | 1.29 | 减少 | -24.15 |
| 全国社保基金一零九组合 | 139.92 | 1.16 | 新进 | 139.92 |
| 工银瑞信基金-中国人寿保险股份有限公司-分红... | 137.93 | 1.14 | 新进 | 137.93 |
| 股东名称 | 持股数 (万股) |
占总股本持股 比例(%) |
变动类型 | 变动数量 (万股) |
| 北京京仪集团有限责任公司 | 4725.00 | 28.13 | 不变 | 0.00 |
| 安徽北自投资管理中心(有限合伙) | 2013.64 | 11.99 | 不变 | 0.00 |
| 中国农业银行股份有限公司-东方人工智能主题混... | 820.00 | 4.88 | 增加 | 425.45 |
| 新华人寿保险股份有限公司-传统-普通保险产品... | 242.49 | 1.44 | 新进 | 242.49 |
| 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备... | 229.74 | 1.37 | 新进 | 229.74 |
| 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材... | 201.30 | 1.20 | 新进 | 201.30 |
| 上海浦东发展银行股份有限公司-广发小盘成长混... | 166.00 | 0.99 | 增加 | 36.80 |
| 嘉兴芯存长志股权投资合伙企业(有限合伙) | 161.49 | 0.96 | 减少 | -38.56 |
| 中国银行股份有限公司-易方达战略新兴产业股票... | 156.12 | 0.93 | 减少 | -24.15 |
| 全国社保基金一零九组合 | 139.92 | 0.83 | 新进 | 139.92 |
| 股东名称 | 解禁数量 (股) |
上市日 | 实际解禁数量 (股) |
| 国泰君安证裕投资有限公司 | 1680000 | 2025-12-01 | 1680000 |
| 嘉兴芯存长志股权投资合伙企业(有限合伙) | 3710000 | 2025-08-01 | 3710000 |
| 鹰潭市信银明杰投资有限合伙企业 | 2400000 | 2025-08-01 | 2400000 |
| 北京新鼎荣盛资本管理有限公司-青岛新鼎啃哥贰贰股权投资合伙企业(有限合伙) | 2350000 | 2025-08-01 | 2350000 |
| 嘉兴宸玥股权投资合伙企业(有限合伙) | 2000000 | 2025-08-01 | 2000000 |
| 北京航天国调创业投资基金(有限合伙) | 1883000 | 2025-08-01 | 1883000 |
| 北京集成电路尖端芯片股权投资中心(有限合伙) | 1700000 | 2025-08-01 | 1700000 |
| 中山宸玥股权投资合伙企业(有限合伙) | 1300000 | 2025-08-01 | 1300000 |
| 姓名 | 职务 | 变动数量 (股) |
变动后持股 数(股) |
变动原因 | 变动日期 |
| 芮守祯 | Chiller研发部副总工程师 | -69557 | 690000 | 询价转让 | 2025-12-31 |
| 卢小武 | 副总经理 | -162500 | 487500 | 集中竞价减持、询价转让 | 2025-12-31 |
| 何茂栋 | Chiller研发部副总工程师 | -34022 | 337500 | 询价转让 | 2025-12-31 |
| 杨春水 | Scrubber研发部技术总监 | -33266 | 330000 | 询价转让 | 2025-12-31 |
| 吕维迪 | Sorter研发部技术总监 | -85453 | 319094 | 询价转让 | 2025-12-31 |
| 基金名称 | 持股数(股) | 持股市值(元) | 占总股本比(%) | 占流通比(%) |
| 东方人工智能主题混合A | 8199978 | 819423801.54 | 4.88 | 6.79 |
| 国泰中证半导体材料设备主题ETF | 2297365 | 229575684.45 | 1.37 | 1.90 |
| 华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF | 2012969 | 201155992.17 | 1.20 | 1.67 |
| 广发小盘成长混合(LOF)A | 1659950 | 165878803.50 | 0.99 | 1.37 |
| 易方达战略新兴产业股票A | 1561154 | 156006119.22 | 0.93 | 1.29 |
| 大摩沪港深科技混合A | 1153414 | 115260661.02 | 0.69 | 0.96 |
| 平安匠心优选混合A | 1095086 | 109431943.98 | 0.65 | 0.91 |
| 新华增怡债券A | 574434 | 57403189.62 | 0.34 | 0.48 |
| 华商领先企业混合 | 461535 | 46121192.55 | 0.27 | 0.38 |
| 海富通成长价值混合A | 403445 | 40316258.85 | 0.24 | 0.33 |
| 大成科技消费股票A | 366189 | 36593266.77 | 0.22 | 0.30 |
| 信澳至诚精选混合A | 345493 | 34525115.49 | 0.21 | 0.29 |
| 工银智能制造股票A | 289027 | 28882468.11 | 0.17 | 0.24 |
| 华宝竞争优势混合A | 205729 | 20558498.97 | 0.12 | 0.17 |
| 华商科创创业精选混合A | 202666 | 20252413.38 | 0.12 | 0.17 |
| 创金合信芯片产业股票发起A | 193397 | 19326162.21 | 0.12 | 0.16 |
| 创金合信专精特新股票发起A | 191368 | 19123404.24 | 0.11 | 0.16 |
| 前海开源高端装备制造混合A | 173094 | 17297283.42 | 0.10 | 0.14 |
| 华商新动力混合A | 123957 | 12387023.01 | 0.07 | 0.10 |
| 创金合信积极成长股票A | 113700 | 11362041.00 | 0.07 | 0.09 |