按行业分类
主营收入(万元) 收入比例(%) 主营成本(万元) 成本比例(%) 利润比例(%) 毛利率(%) 半导体及泛半导体 370388.71 70.63 335685.90 71.12 66.18 9.37 新型显示 90413.50 17.24 80539.33 17.06 18.83 10.92 生命科学 26038.05 4.97 23245.75 4.93 5.33 10.72 其他 19589.77 3.74 16958.94 3.59 5.02 13.43 食品药品大健康 17719.97 3.38 15380.36 3.26 4.46 13.20 其他(补充) 284.57 0.05 188.20 0.04 0.18 33.87

按产品分类
主营收入(万元) 收入比例(%) 主营成本(万元) 成本比例(%) 利润比例(%) 毛利率(%) 洁净室系统集成 270414.24 51.56 246551.93 52.24 45.51 8.82 机电工艺系统 136333.81 26.00 122989.04 26.06 25.45 9.79 二次配 116763.91 22.26 101727.09 21.55 28.68 12.88 设计业务 638.03 0.12 542.23 0.11 0.18 15.01 其他(补充) 284.57 0.05 188.20 0.04 0.18 33.87

按地域分类
主营收入(万元) 收入比例(%) 主营成本(万元) 成本比例(%) 利润比例(%) 毛利率(%) 境内 506347.47 96.55 455933.41 96.60 96.14 9.96 境外 17802.52 3.39 15876.87 3.36 3.67 10.82 其他(补充) 284.57 0.05 188.20 0.04 0.18 33.87