中科仪(920186) 中科院背景真空设备领军者，产能释放迎增长 公司主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。公司拥有三个国家级研发平台，截至2025年12月31日，公司已经获得授权的发明专利103项、实用新型专利20项，软件著作权登记37项。我们看好公司募投放量，同时下游需求增加，预计公司2026-2028年的归母净利润分别为2.26/2.64/3.14亿元（不考虑交易性金融资产公允价值变动以及出售金融资产所得收入)，对应EPS分别为1.01/1.18/1.40元/股，对应PE为87.6/75.2/63.3X，首次覆盖，给予“增持”评级。 集成电路+光伏双轮驱动，干式真空泵需求持续高增 公司的干式真空泵主要向集成电路、光伏产业销售。根据WSTS预计，2025年全球集成电路市场规模将增至6,779亿美元，较2024年增长25.65%。根据中国半导体行业协会统计数据，2016-2023年中国大陆集成电路产业收入年复合增长率达16.03%。根据公司测算，2024年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为12.57万台，市场规模约125.74；中国大陆集成电路产业对干式真空泵的亿元需求为5.21万台，市场规模约52.11亿元；2024年我国光伏产业对干式真空泵 的需求约6.7-8.2万台，按单台均价7万元估算，市场规模约47.0-57.2亿元。 国产干式真空泵龙头企业打破海外垄断，打入国际晶圆大厂供应链 公司是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业。干式真空泵领域，公司的研发创新打破欧美及日本企业的长期垄断，已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛支持国内主流晶圆制造企业，以及客户A等国内主流集成电路设备制造企业，并已通过台积电、大连Intel、SK海力士的测试验证实现小批量出货。公司干式真空泵产品也可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备，并已实现批量交付。 风险提示：技术产品研发风险、市场竞争加剧风险、经营业绩下滑风险、公允价值变动风险。

中科仪(920186) 投资要点： 中科仪是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，主营业务涵盖干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售及相关技术服务。公司起源于20世纪50年代中国科学院下属真空科研单位，实际控制人为中国科学院控股有限公司，国家集成电路产业投资基金为公司第二大股东。干式真空泵为公司主要收入来源，主要客户覆盖长江存储、长鑫科技、中芯国际、北方华创、隆基绿能等头部企业。 干式真空泵行业受半导体、光伏及大科学装置需求拉动，国产替代加速，市场空间持续扩大。全球集成电路市场规模预计2026年将增至8,743亿美元，中国大陆半导体设备市场已连续四年成为全球最大市场，2024年市场规模达 495.5亿美元。据测算，2024年全球集成电路领域干式真空泵需求约12.57万台，市场规模约125.74亿元；中国大陆需求约5.21万台，市场规模约52.11亿元。光伏产业在"双碳"目标驱动下中长期向好，2024年我国光伏新增装机277.57GW。全球干式真空泵市场长期由英国Edwards、日本Ebara等外资巨头垄断，但国产厂商正加速追赶。此外，我国科研经费投入持续高速增长，2024年全社会研发投入达36,130亿元，国家重大科技基础设施建设进入快速发展期，为真空科学仪器带来巨大市场需求。 中科仪是国内半导体真空装备龙头，具备显著的技术积淀与市场竞争优势。公司是国内唯一在集成电路先进制程实现干式真空泵批量应用的国产企业，也是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业，产品满足14nm先进逻辑芯片及128层以上3DNAND存储器工艺需求，已在中芯国际、长江存储、台积电、SK海力士等国内外领先企业实现大批量应用或小批量出货，打破欧美及日本企业长期垄断。公司拥有真空技术装备国家工程研究中心等三个国家级研发平台，构建了包含1500多项生产工艺的应用方 案数据库，集成电路领域干式真空泵出货量超3万台。公司已形成沈阳、南地架构，2025年产能达10,000台，募投项目达产后总产能将达2.65 万台。同时，公司是国内具备整合SUBFAB全类型设备数据能力的龙头企业，客户验证周期长、门槛高所形成的客户资源壁垒显著，全方位服务体系与高素质人才团队支撑公司持续发展。 估值分析和投资建议：公司是国内半导体真空装备龙头，唯一实现先进制程批量应用的国产企业。公司近三年营业收入持续稳步增长，2023-2025年营业务收入分别为8.52、10.82、12.91亿元，复合增长率达22.75%，主要得益于公司产品市场竞争力较强叠加行业发展景气，干式真空泵产品销量快速增长。扣非后归母净利润分别为0.73、0.88、1.03亿元，持续增长。公司可比公司中拓荆科技、华海清科、北方华创、中微公司、芯源微、京仪装备2025年PE/2025年PE（扣非后）分别为118.17/未披露、62.06/69.71、59.12/61.18、91.71/124.95、497.14/-1971.03、123.62/158.72倍，均值为84.13/114.95倍。公司发行后股本为23,383.91万股，发行价对应发行后市值为36.28亿元，对应2025年PE/2025年PE（扣非后）为4.30/35.23倍，相较于可比具备较大的折价。 风险提示：技术和产品研发风险；市场竞争加剧的风险；国际贸易摩擦的风险；持有上市公司股份股价波动造成的经营业绩波动风险；经营业绩下滑的风险；产品尚未覆盖部分先进制程中等、苛刻工艺环节产生的风险；存货跌价风险。

中科仪(920186) 投资要点 中科仪：国内干式真空泵集成电路领域出货量最大，唯一实现先进制程批量应用的国产企业。中科仪作为中国科学院下属企业，长期专注于洁净与超高真空技术研发，是国内领先的半导体核心部件及真空科学仪器供应商。公司干式真空泵已满足14nm逻辑芯片及128层以上3D NAND工艺要求，在国内主流晶圆厂批量应用，出货量居国产厂商首位，并进入台积电、SK海力士等知名厂商供应链；同时为北京正负电子对撞机、上海光源等11项国家重大科技基础设施提供关键真空组件，在科研级MBE设备领域保持领先地位。公司产品广泛应用于半导体、光伏、科研等领域，具备自主可控的全链条制造能力。 国家战略支持叠加自主化加速，半导体零部件及科学仪器领域前景广阔。在半导体产业自主化与清洁能源转型驱动下，干式真空泵作为集成电路及光伏制造核心设备，迎来国产替代与市场扩容双重机遇。1）集成电路领域：2024年全球市场规模达125.74亿元，中国大陆达52.11亿元，受益于先进制程扩产与国产设备导入。2）光伏领域：2024年中国市场规模约47.0-57.2亿元，晶硅电池生产中晶体生长与电池片制造工序形成稳定需求，受新增装机高增长及技术迭代带动设备更新。 自主核心技术与先进制程批量应用优势，受益半导体设备国产替代红利。1）多领域产品矩阵：形成了以高端干式真空泵为核心、多品类协同的产品体系，其中，干式真空泵产品主要为罗茨干泵，广泛支持国内外主流设备厂商机台；真空薄膜仪器设备产品主要包括PVD、CVD设备，主要面向高等院校、科研院所等科研机构进行薄膜材料的研究与小批量制备；并向高能物理大科学装置提供前端区、光束线、波荡器、真空互联及传输系统等关键部件。2）行业领先地位：牵头或参与编制13项国家、行业与团体标准，2024年公司在集成电路领域干式真空泵收入达6.63亿元，测算国内市场占有率约12.72%，为国产厂商中最高。产品已大批量导入国内知名半导体设备厂商及光伏厂商，经过长期产线运行验证，具备高可靠性与工艺适配能力。3）募投项目赋能成长：募投项目建成后将形成年产2万台干式真空泵的生产能力，实现物流移动50%自动化，90%以上加工产线的自动化及智能化；并建设高端半导体设备生产、研发及配套设施，布局集成泵组系统与大尺寸分子束外延设备，丰富产品矩阵。 风险提示：1）市场竞争加剧；2）国际贸易摩擦；3）持有上市公司股份股价波动。4）新股价格波动较大。

中科仪(920186) 投资要点 推荐逻辑：1）我国是全球集成电路产业最主要的市场之一，国内晶圆厂产能预计将从2020年月产490万片提升至2030年的1410万片。干式真空泵作为集成电路各工艺环节构建真空环境的核心关键设备，其市场需求将随晶圆厂产能持续扩张而稳步增长；2）公司是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，产品性能与海外龙头基本持平。2024年公司在集成电路领域的干式真空泵收入为6.6亿元，在国内半导体领域市占率约为12.7%；3）募投项目将扩产干式真空泵，并布局新一代产品，有望进一步提升公司核心竞争力与市场地位。 营收快速增长，非经常性损益占比偏高。公司是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。2023-2025年，公司营收由8.5亿元增长至12.9亿元，年化复合增长率达23.2%。受益于半导体真空装备国产化替代加速及科研仪器需求释放。2023-2025年，公司非经常性损益净额分别为5.3亿元、1.0亿元和7.4亿元，占归母净利润的87.8%、54.4%和87.8%。公司公允价值变动损益波动较大，主要原因是公司持有上市公司拓荆科技、中科信息股份，2025年公允价值变动收益为7.5亿元，同比增长9207.2%。 公司产品国内领先，产品性能与国际竞争对手基本持平。在干式真空泵领域，公司是向集成电路产业出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业。公司的主流产品型号与国际竞争对手对标产品在关键性能指标方面基本处于同一水平。公司集成电路主要客户包括长江存储、长鑫存储、中芯国际、鹏芯微/鹏新旭以及北方华创。目前老客户复购率良好，新客户如台积电、SK海力士等国内外晶园制造企业也在逐步拓展中。 募投项目扩产并布局新一代产品，增强公司核心竞争力与市场份额。公司拟募集资金共8.25亿元，其中2.3亿元投入干式真空泵产业化建设项目，4.7亿元投入高端半导体设备扩产及研发中心建设项目，1.2亿元投入新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目。若本次募投项目顺利投产，2030年预计达产并实现销售收入25.25亿元。假设公司2030年实现收入中80%来自集成电路用干式真空泵，则2030年公司在国内集成电路领域干式真空泵的市占率为24.15%。 盈利预测与投资建议。本次公司发行价为16.21元/股，对应发行后2025年PE（扣非归母）约为35.23倍。当前可比公司PE（TTM）平均值约为162.26倍，PE（TTM，扣非）平均值约为112.13倍。考虑到公司是向集成电路产业出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业，同时产能扩张支持业绩增长，建议积极关注。 风险提示：技术和产品研发风险、市场竞争加剧风险、国际贸易摩擦风险、持有上市公司股份股价波动造成的经营业绩波动风险、经营业绩下滑风险、产品尚未覆盖部分先进制程中等、苛刻工艺环节产生的风险、存货跌价风险。

郭东民,中国国籍,无境外永久居留权,男,1967年6月出生,本科学历,研究员。1989年8月至今就职于公司及前身,历任第六研究室助理工程师、工程师、综合办主任、人事处长、烟检仪器事业部部长、机械设计部部长、党委副书记、监事会主席、总经理职务。现任公司董事长、南通中科仪董事。

王光玉,中国国籍,无境外永久居留权,男,1973年10月出生,本科学历,研究员。1995年7月至今就职于公司及前身,历任产品研发部部长助理、产品研发部副部长、产品研发部部长、副总工程师、技术总监、董事等职务,现任公司董事、总经理,南通中科仪董事长,上海上凯仪执行董事,广州中科仪执行董事、总经理。

赵崇凌,中国国籍,无境外永久居留权,男,1974年9月出生,本科学历,研究员。1998年7月至今就职于公司及前身,历任机械设计部副部长、光伏事业部部长、营销管理部部长、总经理助理等职务,现任公司副总经理,南通中科仪监事。

刘井岩,中国国籍,无境外永久居留权,男,1973年10月出生,本科学历,教授研究员级高级会计师。1996年8月至今就职于公司及前身,历任会计、财务部副部长、财务部部长、财务总监等职务,现任公司副总经理、董事会秘书,上海上凯仪监事,南通中科仪董事,广州中科仪监事。

孔祥玲,中国国籍,无境外永久居留权,女,1982年1月出生,硕士研究生学历,研究员。自2007年4月至今就职于公司,历任机械工程师、真空干泵事业部部长助理、真空干泵事业部副部长、公司总经理助理。现任公司副总经理,南通中科仪董事、总经理。

王春福,中国国籍,无境外永久居留权,男,1966年11月出生,本科学历,会计师。1988年7月加入科学出版社,历任会计、经营财务处副处长、财务处处长、经营财务部主任、社长助理兼经营财务部主任、社长助理兼销售部主任及销售总经理;2009年8月至2023年5月,任中国科技出版传媒股份有限公司党委委员;2011年7月至2013年10月,任中国科技出版传媒股份有限公司总经理助理兼科学销售中心主任;2013年10月至2023年5月,任中国科技出版传媒股份有限公司纪委书记;2020年5月至2023年5月,任中国科技出版传媒股份有限公司监事会主席。2023年6月至今,任国科科仪控股有限公司副总经理、财务总监。现任公司董事。

张磊,中国国籍,无境外永久居留权,男,1992年7月出生,硕士研究生学历。曾在国家开发银行风险管理部、华芯投资管理有限责任公司风险管理部、投资三部任职,现任华芯投资管理有限责任公司业务三部资深主管。现任公司董事。

陈超,中国国籍,无境外永久居留权,男,1982年6月出生,博士研究生学历,高级工程师、经济师。2025年2月至今任中国科学院控股有限公司重大成果转化部总经理。现任公司董事。

于宁,中国国籍,无境外永久居留权,男,1980年12月出生,硕士研究生学历。2007年7月至2020年9月就职于公司,任人力资源部部长;2020年9月至2020年11月就职于辽宁控股(集团)有限责任公司,任人力资源部总经理;2020年11月至今就职于公司,任人力资源总监、人力资源部部长(兼)。现任公司职工代表董事、人力资源总监、人力资源部部长(兼)。

吴凤君,中国国籍,无境外永久居留权,男,1973年4月出生,博士研究生学历,副教授。1997年7月至今,任教于辽宁大学法学院;2009年8月至2017年7月,任辽宁中联律师事务所兼职律师;2016年3月至今,任北京华创方舟科技集团有限公司董事;2016年9月至今,任沈阳美德因妇儿医院股份有限公司董事;2017年7月至今,任北京盈科(沈阳)律师事务所兼职律师。现任公司独立董事。