序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	国科科仪控股有限公司	6050.52	27.03	不变	0.00
2	国家集成电路产业投资基金股份有限公司	3389.83	15.14	不变	0.00
3	雷震霖	503.10	2.25	减少	-6.60
4	李昌龙	428.97	1.92	减少	-53.14
5	宁波浑璞景行创业投资合伙企业(有限合伙)	348.42	1.56	不变	0.00
6	中信建投基金-招商银行-中信建投基金-共赢85号员工参与战略配售集合资产管理计划	312.09	1.39	不变	0.00
7	郭东民	286.95	1.28	不变	0.00
8	张振厚	286.10	1.28	减少	-1.88
9	王光玉	204.00	0.91	不变	0.00
10	交通银行股份有限公司-工银瑞信新兴制造混合型证券投资基金	169.12	0.76	新进	169.12