| 2027-12-02 | 限售解禁 | 2027-12-02预计解禁数量43.69万股，占总股本比例0.10%，股份类型：股权激励期权行权(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2027-11-25 | 限售解禁 | 2027-11-25预计解禁数量215万股，占总股本比例0.49%，股份类型：股权激励期权行权(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2027-06-14 | 限售解禁 | 2027-06-14预计解禁数量44.62万股，占总股本比例0.10%，股份类型：股权激励期权行权(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-09-07 | 限售解禁 | 2026-09-07解禁数量215万股，占总股本比例0.49%，股份类型：股权激励期权行权(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-09-07 | 限售解禁 | 2026-09-07预计解禁数量215万股，占总股本比例0.49%，股份类型：股权激励期权行权(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2025-04-30 | 一季报预披露 | 于2025-04-30披露2025年一季报 |
| 2025-04-30 | 一季报披露 | 2025年一季报归属净利润2.463亿元，同比增长207.21%，基本每股收益0.56元 |
| 2025-04-30 | 股东户数 | 截止2025-03-31，公司A股股东户数为12594户，较上期（2025-01-31）增加343户，变动幅度2.80% |
| 2025-04-29 | 股东大会 | 于2025-04-29召开2025年第二次临时股东大会 |
| 2025-04-25 | 投资互动 | 新增2条投资者互动内容。 |
| 2025-04-12 | 股票回购 | 计划以不超过99.02元/股的价格回购50.49万~101万股流通A股，进度：董事会预案,回购起始日：2024-08-06,回购截止日：2025-08-06 |
| 2025-03-25 | 限售解禁 | 2025-03-25预计解禁数量255万股，占总股本比例0.58%，股份类型：股权激励一般股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2025-03-25 | 限售解禁 | 2025-03-25解禁数量255万股，占总股本比例0.58%，股份类型：股权激励一般股份 |
| 2025-03-21 | 投资互动 | 新增1条投资者互动内容。 |
| 2025-03-20 | 机构调研 | 于2025-03-18接待调研，参与对象：LC Capital Limited等，参与方式：业绩说明会 |
| 2025-03-19 | 高管增持 | 高管及相关人员于2025-03-19增持,累计95.5万股,变动途径:股权激励实施 |
| 2025-03-19 | 高管增持 | 高管及相关人员于2025-03-19增持,累计95.5万股,变动途径:股权激励实施 |
| 2025-03-12 | 投资互动 | 新增1条投资者互动内容。 |
| 2025-02-27 | 年报预披露 | 于2025-02-27披露2024年年报 |
| 2025-02-27 | 对外担保 | 对清芯科技有限公司进行担保 |
| 2025-02-27 | 项目投资 | 新股首发募集资金，计划总投资额合计11.98亿元，用于项目：高端半导体设备拓展研发项目、盛美半导体高端半导体设备研发项目 |
| 2025-02-27 | 投资互动 | 新增2条投资者互动内容。 |
| 2025-02-27 | 分红送转 | 2024年度分配10派6.57元(含税)(董事会预案) |
| 2025-02-27 | 股东户数 | 截止2025-01-31，公司A股股东户数为12251户，较上期（2024-12-31）增加84户，变动幅度0.69% |
| 2025-02-27 | 年报披露 | 2024年年报归属净利润11.53亿元，同比增长26.65%，基本每股收益2.64元 |
| 2025-02-27 | 股东户数 | 截止2024-12-31，公司A股股东户数为12167户，较上期（2024-09-30）增加3743户，变动幅度44.43% |
| 2025-02-12 | 增发 | 计划非公开增发不超过4362万股，募集资金不超过45亿元，进度：股东大会修改 |
| 2025-02-11 | 股东大会 | 于2025-02-11召开2025年第一次临时股东大会 |
| 2025-01-24 | 投资互动 | 新增4条投资者互动内容。 |
| 2025-01-15 | 业绩预告 | 预计2024年1-12月业绩预增，营业收入约56亿元至58.8亿元，同比上升44.02%至51.22% |