| 2027-12-02 | 限售解禁 | 2027-12-02预计解禁数量43.69万股，占总股本比例0.10%，股份类型：股权激励期权行权(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2027-11-25 | 限售解禁 | 2027-11-25预计解禁数量215万股，占总股本比例0.49%，股份类型：股权激励期权行权(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2027-06-14 | 限售解禁 | 2027-06-14预计解禁数量44.62万股，占总股本比例0.10%，股份类型：股权激励期权行权(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-09-07 | 限售解禁 | 2026-09-07解禁数量215万股，占总股本比例0.49%，股份类型：股权激励期权行权(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-09-07 | 限售解禁 | 2026-09-07预计解禁数量215万股，占总股本比例0.49%，股份类型：股权激励期权行权(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2025-02-27 | 年报预披露 | 于2025-02-27披露2024年年报 |
| 2025-02-11 | 股东大会 | 于2025-02-11召开2025年第一次临时股东大会 |
| 2025-01-24 | 投资互动 | 新增4条投资者互动内容。 |
| 2025-01-15 | 业绩预告 | 预计2024年1-12月业绩预增，营业收入约56亿元至58.8亿元，同比上升44.02%至51.22% |
| 2025-01-15 | 业绩预告 | 预计2025年1-12月业绩不确定，营业收入约65亿元至71亿元 |
| 2025-01-11 | 项目投资 | 2021-11-08新股首发募集资金，用于项目：高端半导体设备拓展研发项目，计划总投资额：7.477亿元，计划投入募集资金：7.309亿元，已投入募集资金：7.439亿元 |
| 2025-01-11 | 增发 | 计划非公开增发不超过4362万股，募集资金不超过45亿元，进度：董事会修改 |
| 2024-12-31 | 投资互动 | 新增1条投资者互动内容。 |
| 2024-12-02 | 高管增持 | 高管及相关人员于2024-12-02增持,累计10.38万股,变动途径:股权激励实施 |
| 2024-11-28 | 投资互动 | 新增3条投资者互动内容。 |
| 2024-11-25 | 高管增持 | 高管及相关人员于2024-11-25增持,累计101.8万股,变动途径:股权激励实施 |
| 2024-11-18 | 限售解禁 | 2024-11-18解禁数量3.577亿股，占总股本比例82.09%，股份类型：首发原股东限售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2024-11-18 | 限售解禁 | 2024-11-18预计解禁数量3.577亿股，占总股本比例82.01%，股份类型：首发原股东限售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2024-11-18 | 限售解禁 | 2024-11-18预计解禁数量3.577亿股，占总股本比例82.09%，股份类型：首发原股东限售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2024-11-18 | 限售解禁 | 2024-11-18解禁数量3.577亿股，占总股本比例82.01%，股份类型：首发原股东限售股份 |
| 2024-11-15 | 机构调研 | 于2024-11-13接待调研，参与对象：Dymon Asia Capital (HK) Limited等，参与方式：业绩说明会 |
| 2024-11-12 | 增发 | 计划非公开增发不超过4362万股，募集资金不超过45亿元，进度：上海证券交易所上市审核中心 |
| 2024-11-08 | 业绩预告 | 预计2024年1-12月业绩预增，营业收入约56亿元至58.8亿元 |
| 2024-11-06 | 投资互动 | 新增3条投资者互动内容。 |
| 2024-10-31 | 三季报披露 | 2024年三季报归属净利润7.582亿元，同比增长12.72%，基本每股收益1.74元 |
| 2024-10-31 | 股东户数 | 截止2024-09-30，公司A股股东户数为8424户，较上期（2024-06-30）减少1525户，变动幅度-15.33% |
| 2024-10-31 | 三季报预披露 | 于2024-10-31披露2024年三季报 |
| 2024-10-24 | 投资互动 | 新增1条投资者互动内容。 |
| 2024-10-22 | 增发 | 计划非公开增发不超过4362万股，募集资金不超过45亿元，进度：董事会修改 |
| 2024-10-15 | 投资互动 | 新增1条投资者互动内容。 |