| 2026-09-07 | 限售解禁 | 2026-09-07解禁数量215万股，占总股本比例0.49%，股份类型：股权激励期权行权(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-09-07 | 限售解禁 | 2026-09-07预计解禁数量215万股，占总股本比例0.49%，股份类型：股权激励期权行权(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2024-11-18 | 限售解禁 | 2024-11-18解禁数量3.577亿股，占总股本比例82.09%，股份类型：首发原股东限售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2024-11-18 | 限售解禁 | 2024-11-18预计解禁数量3.577亿股，占总股本比例82.09%，股份类型：首发原股东限售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2024-04-27 | 一季报预披露 | 于2024-04-27披露2024年一季报 |
| 2024-04-27 | 一季报披露 | 2024年一季报归属净利润8018万元，同比下降38.76%，基本每股收益0.18元 |
| 2024-04-27 | 股东户数 | 截止2024-03-31，公司A股股东户数为11000户，较上期（2024-01-31）增加1785户，变动幅度19.37% |
| 2024-04-08 | 高管增持 | 陈福平(高级管理人员,核心技术人员)增持1000股，交易均价：83.00元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2024-04-03 | 高管增持 | 陈福平(高级管理人员,核心技术人员)增持3318股，交易均价：84.60元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2024-03-29 | 高管增持 | 陈福平(高级管理人员,核心技术人员)增持1000股，交易均价：84.00元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2024-03-27 | 高管增持 | 陈福平(高级管理人员,核心技术人员)增持2000股，交易均价：85.00元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2024-03-25 | 高管增持 | 陈福平(高级管理人员,核心技术人员)增持5000股，交易均价：88.60元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2024-03-12 | 机构调研 | 于2024-03-07接待调研，参与对象：Fidelity Management & Research (Hong Kong) Limited等，参与方式：业绩说明会 |
| 2024-03-08 | 高管增持 | 陈福平(高级管理人员,核心技术人员)增持10000股，交易均价：92.90元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2024-03-05 | 高管增持 | 陈福平(高级管理人员,核心技术人员)增持10000股，交易均价：94.23元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2024-03-01 | 高管增持 | 陈福平(高级管理人员,核心技术人员)增持10000股，交易均价：96.02元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2024-02-29 | 年报预披露 | 于2024-02-29披露2023年年报 |
| 2024-02-29 | 股东户数 | 截止2024-01-31，公司A股股东户数为9215户，较上期（2023-12-31）增加850户，变动幅度10.16% |
| 2024-02-29 | 股东户数 | 截止2023-12-31，公司A股股东户数为8365户，较上期（2023-09-30）增加427户，变动幅度5.38% |
| 2024-02-29 | 对外担保 | 对清芯科技有限公司进行担保 |
| 2024-02-29 | 年报披露 | 2023年年报归属净利润9.105亿元，同比增长36.21%，基本每股收益2.09元 |
| 2024-02-29 | 分红送转 | 2023年度分配10派6.27元(含税)(董事会预案) |
| 2024-02-29 | 项目投资 | 新股首发募集资金，计划总投资额合计11.98亿元，用于项目：高端半导体设备拓展研发项目、盛美半导体高端半导体设备研发项目 |
| 2024-02-23 | 增发 | 计划非公开增发不超过4357万股，募集资金不超过45亿元，进度：股东大会批准 |
| 2024-02-22 | 股东大会 | 于2024-02-22召开2024年第一次临时股东大会 |
| 2024-02-22 | 股东大会 | 于2024-02-22召开2024年第一次临时股东大会 |
| 2024-01-30 | 机构调研 | 于2024-01-26接待调研，参与对象：Ariose Capital等，参与方式：分析师会议 |
| 2024-01-30 | 股东增持 | 王坚、陈福平、罗明珠于2024-01-29增持9.574万股，变动数量占流通股比例0.13%，交易均价81.00元 |
| 2024-01-29 | 高管增持 | 高管及相关人员于2024-01-29增持,累计9.574万股,变动途径:二级市场买卖 |
| 2024-01-29 | 增减持计划 | 高管陈福平等计划自2024-01-29起至2024-07-29进行增持，拟增持金额不超过1200万元，不低于900万元 |