| 2026-06-25 | 股东大会 | 于2026-06-25召开2026年第三次临时股东大会 |
| 2026-06-18 | 增发 | 计划非公开增发不超过4947万股，募集资金不超过40亿元，进度：上海证券交易所上市审核中心受理 |
| 2026-06-17 | 项目投资 | 股票增发募集资金，计划总投资额合计44.05亿元，用于项目：高端半导体装备研发项目、上海集成电路装备研发制造基地项目、晶圆再生扩产项目 |
| 2026-06-09 | 分红送转 | 2025年度分配10转4派4元(含税)，股权登记日2026-06-09，除权除息日2026-06-10 |
| 2026-06-05 | 投资互动 | 新增5条投资者互动内容。 |
| 2026-06-04 | 股票回购 | 计划以不超过123.38元/股的价格回购44.11万~76.35万股流通A股，进度：实施中,回购起始日：2025-09-17,回购截止日：2026-09-16；目前已累计回购44.11万股，均价为136.53元 |
| 2026-06-04 | 股票回购 | 计划以不超过173元/股的价格回购28.9万~57.8万股流通A股，进度：实施中,回购起始日：2025-09-17,回购截止日：2026-09-16；目前已累计回购44.11万股，均价为136.53元 |
| 2026-05-29 | 增发 | 计划非公开增发不超过3537万股，募集资金不超过40亿元，进度：董事会修改 |
| 2026-05-14 | 增发 | 计划非公开增发不超过3537万股，募集资金不超过40亿元，进度：股东大会批准 |
| 2026-05-13 | 股东大会 | 于2026-05-13召开2025年年度股东大会 |
| 2026-05-11 | 投资互动 | 新增4条投资者互动内容。 |
| 2026-04-24 | 机构调研 | 于2026-04-23接待调研，参与对象：CGS等，参与方式：业绩说明会 |
| 2026-04-23 | 年报预披露 | 于2026-04-23披露2025年年报 |
| 2026-04-23 | 一季报预披露 | 于2026-04-23披露2026年一季报 |
| 2026-04-23 | 年报披露 | 2025年年报归属净利润10.84亿元，同比增长5.89%，基本每股收益3.08元 |
| 2026-04-23 | 分红送转 | 2025年度分配10转4派4元(含税)(董事会预案) |
| 2026-04-23 | 股东户数 | 截止2025-12-31，公司A股股东户数为19779户，较上期（2025-09-30）减少9080户，变动幅度-31.46% |
| 2026-04-23 | 项目投资 | 股票增发募集资金，计划总投资额合计44.05亿元，用于项目：高端半导体装备研发项目、上海集成电路装备研发制造基地项目、晶圆再生扩产项目 |
| 2026-04-23 | 一季报披露 | 2026年一季报归属净利润2.473亿元，同比增长5.95%，基本每股收益0.7元 |
| 2026-04-23 | 增发 | 计划非公开增发不超过3537万股，募集资金不超过40亿元，进度：董事会批准 |
| 2026-04-23 | 股东户数 | 截止2026-03-31，公司A股股东户数为15265户，较上期（2025-12-31）减少4514户，变动幅度-22.82% |
| 2026-04-23 | 分红送转 | 2025年度分配10转4派4元(含税)(股东大会预案) |
| 2026-04-16 | 股权激励 | 本激励计划采用的激励工具为第二类限制性股票,涉及的标的股票来源为公司向激励对象定向发行的公司A股普通股股票和/或从二级市场回购的公司A股普通股股票。本激励计划首次授予的激励对象人数共计602人,本次激励计划拟授予限制性股票不超过1,210.71万股,约占本计划草案公告时公司股本总额35,365.1991万股的3.42%,其中首次授予968.57万股限制性股票,约占本计划草案公告时公司股本总额的2.74%、占本计划授予总额的80%;预留授予242.14万股,约占本计划草案公告时公司股本总额的0.68%、占本计划授予总额度的20%。本激励计划首次授予部分限制性股票的授予价格为每股92.81元。本激励计划有效期自限制性股票授予之日起至激励对象获授的限制性股票全部归属或作废失效之日止,最长不超过72个月。(董事会预案) |
| 2026-03-24 | 大宗交易 | 成交均价164.84元，溢价0.00%，成交量3.4万股，成交金额560.5万元 |
| 2026-03-04 | 股东大会 | 于2026-03-04召开2026年第二次临时股东大会 |
| 2026-02-28 | 业绩快报 | 2025年1-12月快报披露，营业总收入46.48亿元，归属净利润10.86亿元，基本每股收益3.08元 |
| 2026-01-27 | 投资互动 | 新增1条投资者互动内容。 |
| 2026-01-26 | 投资互动 | 新增1条投资者互动内容。 |
| 2026-01-16 | 股东大会 | 于2026-01-16召开2026年第一次临时股东大会 |
| 2025-12-23 | 大宗交易 | 成交均价144.43元，折价9.62%，成交量51.71万股，成交金额7468万元 |