| 2028-07-10 | 限售解禁 | 2028-07-10预计解禁数量11.98亿股，占总股本比例40.55%，股份类型：首发原股东限售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2027-07-08 | 限售解禁 | 2027-07-08预计解禁数量886.7万股，占总股本比例0.30%，股份类型：首发战略配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-07-08 | 限售解禁 | 2026-07-08预计解禁数量15.33亿股，占总股本比例51.88%，股份类型：首发原股东限售股份，首发战略配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-05-22 | 股东大会 | 于2026-05-22召开2025年年度股东大会 |
| 2026-05-18 | 机构调研 | 于2026-05-15接待调研，参与对象：投资者，参与方式：业绩说明会,网络文字互动 |
| 2026-04-29 | 年报预披露 | 于2026-04-29披露2025年年报 |
| 2026-04-29 | 一季报预披露 | 于2026-04-29披露2026年一季报 |
| 2026-04-29 | 股东户数 | 截止2026-03-31，公司A股股东户数为32608户，较上期（2025-12-31）减少4289户，变动幅度-11.62% |
| 2026-04-29 | 一季报披露 | 2026年一季报归属净利润1.593亿元，同比下降26.76%，基本每股收益0.05元 |
| 2026-04-29 | 年报披露 | 2025年年报归属净利润6.708亿元，同比增长24.03%，基本每股收益0.24元 |
| 2026-04-29 | 分红送转 | 2025年度分配10派0.273元(含税)(董事会预案) |
| 2026-04-29 | 项目投资 | 新股首发募集资金，计划总投资额合计16.63亿元，用于项目：屹唐半导体集成电路装备研发制造服务中心项目、发展和科技储备资金 |
| 2026-04-29 | 股东户数 | 截止2025-12-31，公司A股股东户数为36897户，较上期（2025-09-30）减少3846户，变动幅度-9.44% |
| 2026-02-28 | 业绩快报 | 2025年1-12月快报披露，营业总收入50.76亿元，归属净利润6.708亿元，基本每股收益0.24元 |
| 2026-02-09 | 投资互动 | 新增2条投资者互动内容。 |
| 2026-01-28 | 投资互动 | 新增1条投资者互动内容。 |
| 2026-01-21 | 投资互动 | 新增2条投资者互动内容。 |
| 2026-01-08 | 限售解禁 | 2026-01-08预计解禁数量1521万股，占总股本比例0.51%，股份类型：首发机构配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-01-08 | 限售解禁 | 2026-01-08解禁数量1521万股，占总股本比例0.51%，股份类型：首发机构配售股份 |
| 2025-12-15 | 股东大会 | 于2025-12-15召开2025年第四次临时股东大会 |
| 2025-11-20 | 投资互动 | 新增1条投资者互动内容。 |
| 2025-11-18 | 投资互动 | 新增1条投资者互动内容。 |
| 2025-10-30 | 三季报预披露 | 于2025-10-30披露2025年三季报 |
| 2025-10-30 | 三季报披露 | 2025年三季报归属净利润5.156亿元，同比增长22.73%，基本每股收益0.19元 |
| 2025-10-30 | 股东户数 | 截止2025-09-30，公司A股股东户数为40743户，较上期（2025-07-08）减少89122户，变动幅度-68.63% |
| 2025-10-27 | 股东大会 | 于2025-10-27召开2025年第三次临时股东大会 |
| 2025-10-16 | 机构调研 | 于2025-10-16接待调研，参与对象：投资者，参与方式：业绩说明会,网络文字互动 |
| 2025-08-29 | 股东户数 | 截止2025-06-30，公司A股股东户数为34户，较上期（2025-06-19）保持不变 |
| 2025-08-29 | 中报披露 | 2025年中报归属净利润3.478亿元，同比增长40.23%，基本每股收益0.13元 |
| 2025-08-29 | 对外担保 | 对Mattson Technology, Inc.进行担保 |