| 流通市值：328.29亿 | 总市值：328.29亿 | ||
| 流通股本：8.47亿 | 总股本：8.47亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总流通股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 中国有研科技集团有限公司 | 28009.84 | 33.09 | 不变 | 0.00 |
| 2 | 国新投资有限公司 | 3270.73 | 3.86 | 增加 | 1209.01 |
| 3 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 1505.96 | 1.78 | 增加 | 382.01 |
| 4 | 广东粤财信托有限公司-粤财信托·粤中3号单一资金信托计划 | 1470.91 | 1.74 | 不变 | 0.00 |
| 5 | 中国稀有稀土股份有限公司 | 1334.00 | 1.58 | 不变 | 0.00 |
| 6 | 中国银行股份有限公司-易方达中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 743.62 | 0.88 | 增加 | 310.00 |
| 7 | 香港中央结算有限公司 | 656.82 | 0.78 | 减少 | -11.44 |
| 8 | 中国建设银行股份有限公司-嘉实中证稀土产业交易型开放式指数证券投资基金 | 559.05 | 0.66 | 减少 | -7.34 |
| 9 | 招商银行股份有限公司-广发中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 454.14 | 0.54 | 增加 | 164.40 |
| 10 | 中信建投证券股份有限公司-华夏中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 313.86 | 0.37 | 新进 | 313.86 |