| 流通市值：110.60亿 | 总市值：110.60亿 | ||
| 流通股本：3.83亿 | 总股本：3.83亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总流通股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 蒋渊 | 8049.97 | 21.02 | 减少 | -599.99 |
| 2 | 共青城尚纯科技产业投资合伙企业(有限合伙) | 1520.06 | 3.97 | 不变 | 0.00 |
| 3 | 陆龙英 | 950.04 | 2.48 | 减少 | -300.00 |
| 4 | 香港中央结算有限公司 | 668.43 | 1.75 | 新进 | 668.43 |
| 5 | 吴海华 | 651.60 | 1.70 | 不变 | 0.00 |
| 6 | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司回购专用证券账户 | 455.18 | 1.19 | 增加 | 41.79 |
| 7 | 国泰佳泰股票专项型养老金产品-招商银行股份有限公司 | 383.30 | 1.00 | 增加 | 52.65 |
| 8 | 上海歆享资产管理有限公司-歆享申享一号私募证券投资基金 | 283.64 | 0.74 | 不变 | 0.00 |
| 9 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 281.15 | 0.73 | 新进 | 281.15 |
| 10 | 国泰基金管理有限公司-社保基金2103组合 | 279.30 | 0.73 | 减少 | -82.60 |