| 流通市值：95.24亿 | 总市值：95.24亿 | ||
| 流通股本：3.83亿 | 总股本：3.83亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 蒋渊 | 8049.97 | 21.02 | 不变 | 0.00 |
| 2 | 共青城尚纯科技产业投资合伙企业(有限合伙) | 1520.06 | 3.97 | 不变 | 0.00 |
| 3 | 陆龙英 | 950.04 | 2.48 | 不变 | 0.00 |
| 4 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 698.28 | 1.82 | 增加 | 344.49 |
| 5 | 吴海华 | 651.60 | 1.70 | 不变 | 0.00 |
| 6 | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司回购专用证券账户 | 382.42 | 1.00 | 不变 | 0.00 |
| 7 | 香港中央结算有限公司 | 343.46 | 0.90 | 减少 | -77.85 |
| 8 | 中国银行股份有限公司-嘉实中证半导体产业指数增强型发起式证券投资基金 | 295.08 | 0.77 | 新进 | 295.08 |
| 9 | 高盛国际-自有资金 | 189.06 | 0.49 | 新进 | 189.06 |
| 10 | 国泰佳泰股票专项型养老金产品-招商银行股份有限公司 | 168.60 | 0.44 | 不变 | 0.00 |