| 流通市值：32.35亿 | 总市值：74.20亿 | ||
| 流通股本：6977.88万 | 总股本：1.60亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总流通股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 国投(广东)科技成果转化创业投资基金合伙企业(有限合伙) | 706.08 | 10.12 | 不变 | 0.00 |
| 2 | 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 420.27 | 6.02 | 增加 | 257.17 |
| 3 | 国泰海通证券股份有限公司-华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 104.89 | 1.50 | 新进 | 104.89 |
| 4 | 邓玉荣 | 91.77 | 1.32 | 减少 | -1.59 |
| 5 | 苏州奥银湖杉投资合伙企业(有限合伙) | 58.90 | 0.84 | 不变 | 0.00 |
| 6 | 高盛公司有限责任公司 | 57.79 | 0.83 | 新进 | 57.79 |
| 7 | 中信建投证券股份有限公司-鹏华上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 50.84 | 0.73 | 新进 | 50.84 |
| 8 | 中国国际金融香港资产管理有限公司-CICCFT10(Q) | 48.40 | 0.69 | 新进 | 48.40 |
| 9 | 中国工商银行股份有限公司-金信稳健策略灵活配置混合型发起式证券投资基金 | 45.00 | 0.64 | 减少 | -4.00 |
| 10 | UBS AG | 37.44 | 0.54 | 新进 | 37.44 |