| 流通市值：36.06亿 | 总市值：85.14亿 | ||
| 流通股本：6777.82万 | 总股本：1.60亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总流通股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 国投(广东)科技成果转化创业投资基金合伙企业(有限合伙) | 706.08 | 10.42 | 不变 | 0.00 |
| 2 | 上海聚鸣投资管理有限公司-聚鸣瑞仪私募证券投资基金 | 169.80 | 2.51 | 新进 | 169.80 |
| 3 | 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 158.96 | 2.35 | 增加 | 82.86 |
| 4 | 苏州奥银湖杉投资合伙企业(有限合伙) | 133.90 | 1.98 | 减少 | -266.10 |
| 5 | 宁波西电天朗创业投资合伙企业(有限合伙) | 121.16 | 1.79 | 减少 | -234.62 |
| 6 | UBS AG | 117.40 | 1.73 | 新进 | 117.40 |
| 7 | 上海聚鸣投资管理有限公司-聚鸣匠传3号私募证券投资基金 | 110.51 | 1.63 | 新进 | 110.51 |
| 8 | 中国工商银行股份有限公司-金信稳健策略灵活配置混合型发起式证券投资基金 | 108.00 | 1.59 | 新进 | 108.00 |
| 9 | J.P.Morgan Securities PLC-自有资金 | 93.33 | 1.38 | 新进 | 93.33 |
| 10 | 建信基金-建设银行-中国人寿-中国人寿委托建信基金公司股票型组合 | 78.34 | 1.16 | 新进 | 78.34 |