序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	文宏福	3240.00	20.24	不变	0.00
2	深圳市宏文创鑫科技有限公司	3000.00	18.74	不变	0.00
3	方红	1853.27	11.58	不变	0.00
4	国投(广东)科技成果转化创业投资基金合伙企业(有限合伙)	706.08	4.41	不变	0.00
5	深圳市欧创汇才投资合伙企业(有限合伙)	560.00	3.50	不变	0.00
6	长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	420.27	2.63	增加	257.17
7	深圳市欧创东升投资合伙企业(有限合伙)	373.33	2.33	不变	0.00
8	国泰海通证券股份有限公司-华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	104.89	0.66	新进	104.89
9	邓玉荣	91.77	0.57	减少	-1.59
10	苏州奥银湖杉投资合伙企业(有限合伙)	58.90	0.37	新进	58.90