| 流通市值：18.34亿 | 总市值：152.54亿 | ||
| 流通股本：5402.82万 | 总股本：4.49亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总流通股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 281.65 | 5.21 | 增加 | 171.81 |
| 2 | 中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 89.59 | 1.66 | 新进 | 89.59 |
| 3 | 国泰海通证券股份有限公司-华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 68.96 | 1.28 | 新进 | 68.96 |
| 4 | 王健民 | 49.07 | 0.91 | 新进 | 49.07 |
| 5 | 中信里昂资产管理有限公司-客户资金 | 47.33 | 0.88 | 新进 | 47.33 |
| 6 | 申万宏源证券资管-工商银行-申万宏源宏利尊享1号集合资产管理计划 | 40.45 | 0.75 | 新进 | 40.45 |
| 7 | 杭州佳祺资产管理有限公司-佳祺践行者五号私募证券投资基金 | 35.68 | 0.66 | 新进 | 35.68 |
| 8 | 上海石锋资产管理有限公司-石锋资产重剑三号私募证券投资基金 | 35.06 | 0.65 | 新进 | 35.06 |
| 9 | 王大富 | 34.21 | 0.63 | 新进 | 34.21 |
| 10 | 上海石锋资产管理有限公司-石锋资产重剑一号私募基金 | 33.86 | 0.63 | 新进 | 33.86 |