序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	北京有研艾斯半导体科技有限公司	38475.00	30.77	不变	0.00
2	株式会社RS Technologies	31459.04	25.16	不变	0.00
3	中国有研科技集团有限公司	23042.25	18.43	不变	0.00
4	长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	1975.12	1.58	增加	1236.40
5	德州芯利咨询管理中心(有限合伙)	1432.00	1.15	不变	0.00
6	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	951.41	0.76	增加	242.72
7	德州芯睿咨询管理中心(有限合伙)	856.00	0.68	不变	0.00
8	香港中央结算有限公司	614.32	0.49	减少	-55.72
9	国泰海通证券股份有限公司-华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	486.53	0.39	新进	486.53
10	中国银行股份有限公司-易方达中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	470.67	0.38	新进	470.67