序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	Silicon Technology Investment (Cayman) Corp.	31962.41	47.76	不变	0.00
2	河南兴港融创创业投资发展基金(有限合伙)	18576.41	27.76	减少	-631.86
3	中电中金(厦门)智能产业股权投资基金合伙企业(有限合伙)	690.59	1.03	减少	-119.53
4	美国绿捷股份有限公司	444.28	0.66	减少	-51.54
5	长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	410.50	0.61	增加	12.97
6	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	378.23	0.57	减少	-76.38
7	计平	259.00	0.39	减少	-21.00
8	吴雪峰	203.28	0.30	新进	203.28
9	盛美半导体设备(上海)股份有限公司	192.35	0.29	新进	192.35
10	郑州兴晶旺企业管理咨询合伙企业(有限合伙)	187.07	0.28	新进	187.07