| 2026-05-19 | 限售解禁 | 2026-05-19解禁数量7330万股，占总股本比例22.91%，股份类型：首发原股东限售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-05-19 | 限售解禁 | 2026-05-19预计解禁数量7330万股，占总股本比例22.91%，股份类型：首发原股东限售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2025-05-19 | 限售解禁 | 2025-05-19解禁数量254.2万股，占总股本比例0.79%，股份类型：首发战略配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2025-05-19 | 限售解禁 | 2025-05-19预计解禁数量254.2万股，占总股本比例0.79%，股份类型：首发战略配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2025-04-26 | 一季报预披露 | 于2025-04-26披露2025年一季报 |
| 2025-04-04 | 年报预披露 | 于2025-04-04披露2024年年报 |
| 2025-03-22 | 增发 | 计划非公开增发不超过9600万股，募集资金不超过25亿元，进度：董事会修改 |
| 2025-03-19 | 股东减持 | 公司股东于2024-12-18至2025-03-18减持，累计347.8万股，占流通股本1.42% |
| 2025-03-17 | 大宗交易 | 2025-03-17共发生2笔大宗交易，总成交量35万股，总成交金额3275万元 |
| 2025-03-14 | 大宗交易 | 成交均价92.18元，折价0.70%，成交量20万股，成交金额1844万元 |
| 2025-03-12 | 增发 | 计划非公开增发不超过9600万股，募集资金不超过25亿元，进度：董事会修改 |
| 2025-03-10 | 大宗交易 | 成交均价100.00元，折价0.70%，成交量20万股，成交金额2000万元 |
| 2025-03-07 | 大宗交易 | 成交均价101.82元，折价0.70%，成交量20万股，成交金额2036万元 |
| 2025-03-06 | 大宗交易 | 成交均价104.48元，折价0.70%，成交量25万股，成交金额2612万元 |
| 2025-03-05 | 大宗交易 | 成交均价96.67元，折价0.70%，成交量20万股，成交金额1933万元 |
| 2025-03-03 | 大宗交易 | 成交均价94.93元，折价0.70%，成交量30万股，成交金额2848万元 |
| 2025-02-28 | 业绩快报 | 2024年1-12月快报披露，营业总收入13.8亿元，归属净利润-1165万元，基本每股收益-0.04元 |
| 2025-02-20 | 股东减持 | 国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙)于2024-12-19至2025-02-18减持446.6万股，变动数量占流通股比例1.83% |
| 2025-02-18 | 大宗交易 | 成交均价94.55元，折价0.70%，成交量25万股，成交金额2364万元 |
| 2025-02-10 | 大宗交易 | 成交均价96.88元，折价0.70%，成交量20万股，成交金额1938万元 |
| 2025-02-06 | 大宗交易 | 成交均价101.13元，折价0.70%，成交量30万股，成交金额3034万元 |
| 2025-02-05 | 大宗交易 | 成交均价92.75元，折价0.70%，成交量20万股，成交金额1855万元 |
| 2025-01-24 | 业绩预告 | 预计2024年1-12月业绩首亏，归属净利润约-2400万元至-500万元，营业收入约13.2亿元至14.2亿元，同比上升48.16%至59.39%，扣非净利润约-1.45亿元至-9500万元 |
| 2025-01-23 | 增发 | 计划非公开增发不超过9600万股，募集资金不超过25亿元，进度：上海证券交易所上市审核中心 |
| 2025-01-22 | 项目投资 | 股票增发募集资金，用于项目：上海高端半导体质量控制设备产业化项目，计划总投资额：8.457亿元，计划投入募集资金：7.34亿元 |
| 2024-12-31 | 增发 | 计划非公开增发不超过9600万股，募集资金不超过25亿元，进度：股东大会批准 |
| 2024-12-31 | 投资互动 | 新增1条投资者互动内容。 |
| 2024-12-31 | 大宗交易 | 成交均价86.85元，折价0.80%，成交量20万股，成交金额1737万元 |
| 2024-12-30 | 股东大会 | 于2024-12-30召开2024年第三次临时股东大会 |
| 2024-12-25 | 大宗交易 | 成交均价89.77元，折价0.80%，成交量15万股，成交金额1347万元 |