| 2026-05-19 | 限售解禁 | 2026-05-19解禁数量7330万股，占总股本比例22.91%，股份类型：首发原股东限售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-05-19 | 限售解禁 | 2026-05-19预计解禁数量7330万股，占总股本比例22.91%，股份类型：首发原股东限售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-05-19 | 限售解禁 | 2026-05-19预计解禁数量7330万股，占总股本比例22.79%，股份类型：首发原股东限售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-05-19 | 限售解禁 | 2026-05-19预计解禁数量7330万股，占总股本比例20.93%，股份类型：首发原股东限售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-04-25 | 年报预披露 | 于2026-04-25披露2025年年报 |
| 2026-04-20 | 限售解禁 | 2026-04-20预计解禁数量2857万股，占总股本比例8.16%，股份类型：定向增发机构配售股份(根据历史公告推算，实际情况以上市公司公告为准) |
| 2026-01-16 | 高管减持 | 古凯男(董事,董事会秘书)减持2300股，变动途径：集中竞价 |
| 2026-01-16 | 高管减持 | 古凯男(董事,高级管理人员)减持1300股，交易均价：202.77元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2026-01-15 | 高管减持 | 陈鲁(董事长,总经理,核心技术人员)减持4.65万股，变动途径：集中竞价 |
| 2026-01-15 | 高管减持 | 高管及相关人员于2026-01-15减持,累计4.75万股,变动途径:二级市场买卖 |
| 2026-01-12 | 高管减持 | 古凯男(董事,高级管理人员)减持900股，交易均价：193.49元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2026-01-09 | 高管减持 | 高管及相关人员于2026-01-09减持,累计1.688万股,变动途径:二级市场买卖 |
| 2026-01-08 | 高管减持 | 高管及相关人员于2026-01-08减持,累计8.725万股,变动途径:二级市场买卖 |
| 2026-01-07 | 高管减持 | 古凯男(董事,高级管理人员)减持400股，交易均价：183.25元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2026-01-07 | 高管减持 | 高管及相关人员于2026-01-07减持,累计8400股,变动途径:二级市场买卖 |
| 2026-01-06 | 高管减持 | 高管及相关人员于2026-01-06减持,累计3.465万股,变动途径:二级市场买卖 |
| 2025-12-22 | 投资互动 | 新增5条投资者互动内容。 |
| 2025-12-19 | 股东大会 | 于2025-12-19召开2025年第一次临时股东大会 |
| 2025-12-04 | 项目投资 | 股票增发募集资金，计划总投资额合计21.52亿元，用于项目：上海高端半导体质量控制设备产业化项目、总部基地及研发中心升级建设项目、上海高端半导体质量控制设备研发测试中心项目 |
| 2025-11-22 | 增减持计划 | 实际控制人哈承姝等计划自2025-12-15起至2026-03-14进行减持，拟减持股数不超过19.69万股，占总股本比例不超过0.06% |
| 2025-11-21 | 投资互动 | 新增2条投资者互动内容。 |
| 2025-11-11 | 机构调研 | 于2025-11-06至2025-11-11接待调研，参与对象：国泰海通证券等，参与方式：特定对象调研 |
| 2025-10-31 | 三季报预披露 | 于2025-10-31披露2025年三季报 |
| 2025-10-31 | 三季报披露 | 2025年三季报归属净利润-1470万元，同比增长71.67%，基本每股收益-0.05元 |
| 2025-10-31 | 股东户数 | 截止2025-09-30，公司A股股东户数为13694户，较上期（2025-06-30）增加3920户，变动幅度40.11% |
| 2025-10-31 | 项目投资 | 2025-10-20股票增发募集资金，用于项目：上海高端半导体质量控制设备产业化项目，计划总投资额：8.457亿元，计划投入募集资金：7.148亿元 |
| 2025-10-31 | 投资互动 | 新增1条投资者互动内容。 |
| 2025-10-25 | 增减持计划 | 非控股股东国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙)计划自2025-11-17起至2026-02-16进行减持，拟减持股数不超过1050万股，占总股本比例不超过3.00% |
| 2025-10-23 | 项目投资 | 股票增发募集资金，计划总投资额合计28.52亿元，用于项目：上海高端半导体质量控制设备产业化项目、补充流动资金、总部基地及研发中心升级建设项目、上海高端半导体质量控制设备研发测试中心项目 |
| 2025-10-23 | 项目投资 | 股票增发募集资金，计划总投资额合计20.06亿元，用于项目：补充流动资金、总部基地及研发中心升级建设项目、上海高端半导体质量控制设备研发测试中心项目 |