| 流通市值：275.01亿 | 总市值：410.92亿 | ||
| 流通股本：3.19亿 | 总股本：4.76亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总流通股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 沈琦 | 2618.05 | 8.22 | 不变 | 0.00 |
| 2 | 沈馥 | 2400.78 | 7.54 | 不变 | 0.00 |
| 3 | 香港中央结算有限公司 | 873.45 | 2.74 | 增加 | 463.12 |
| 4 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 721.75 | 2.27 | 增加 | 191.83 |
| 5 | 中国银行股份有限公司-易方达中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 356.79 | 1.12 | 新进 | 356.79 |
| 6 | 王卫列 | 299.00 | 0.94 | 不变 | 0.00 |
| 7 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 246.02 | 0.77 | 减少 | -43.94 |
| 8 | 中国人寿保险股份有限公司-传统-普通保险产品-005L-CT001沪 | 238.84 | 0.75 | 减少 | -159.96 |
| 9 | 骆颖 | 228.00 | 0.72 | 不变 | 0.00 |