序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	沈琦	10472.19	22.00	不变	0.00
2	沈馥	9603.13	20.18	不变	0.00
3	沈锡强	912.00	1.92	不变	0.00
4	香港中央结算有限公司	873.45	1.84	增加	463.12
5	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	721.75	1.52	增加	191.83
6	中国银行股份有限公司-易方达中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	356.79	0.75	新进	356.79
7	王卫列	299.00	0.63	不变	0.00
8	国家集成电路产业投资基金股份有限公司	246.02	0.52	减少	-43.94
9	中国人寿保险股份有限公司-传统-普通保险产品-005L-CT001沪	238.84	0.50	减少	-159.96
10	骆颖	228.00	0.48	不变	0.00