| 流通市值：255.33亿 | 总市值：266.58亿 | ||
| 流通股本：6.62亿 | 总股本：6.91亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总流通股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 沈洁 | 6045.19 | 9.13 | 不变 | 0.00 |
| 2 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 1750.94 | 2.64 | 增加 | 440.86 |
| 3 | 香港中央结算有限公司 | 1401.60 | 2.12 | 增加 | 427.41 |
| 4 | 北京宏裕融基创业投资中心(有限合伙) | 1352.92 | 2.04 | 不变 | 0.00 |
| 5 | 南京大学资本运营有限公司 | 1314.49 | 1.99 | 不变 | 0.00 |
| 6 | 张兴国 | 904.41 | 1.37 | 不变 | 0.00 |
| 7 | 中国银行股份有限公司-易方达中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 864.11 | 1.31 | 增加 | 359.55 |
| 8 | 中国工商银行股份有限公司-易方达创业板交易型开放式指数证券投资基金 | 695.46 | 1.05 | 增加 | 332.82 |
| 9 | 招商银行股份有限公司-广发中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 531.52 | 0.80 | 增加 | 185.81 |
| 10 | 中信建投证券股份有限公司-华夏中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 367.87 | 0.56 | 新进 | 367.87 |