序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	沈洁	6045.19	8.75	不变	0.00
2	张兴国	3617.63	5.23	不变	0.00
3	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	1750.94	2.53	增加	440.86
4	香港中央结算有限公司	1401.60	2.03	增加	427.41
5	北京宏裕融基创业投资中心(有限合伙)	1352.92	1.96	不变	0.00
6	南京大学资本运营有限公司	1314.49	1.90	不变	0.00
7	中国银行股份有限公司-易方达中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	864.11	1.25	增加	359.55
8	中国工商银行股份有限公司-易方达创业板交易型开放式指数证券投资基金	695.46	1.01	增加	332.82
9	招商银行股份有限公司-广发中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	531.52	0.77	增加	185.81
10	中信建投证券股份有限公司-华夏中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	367.87	0.53	新进	367.87