| 流通市值：66.64亿 | 总市值：66.64亿 | ||
| 流通股本：3.83亿 | 总股本：3.83亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总流通股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 蒋渊 | 7886.39 | 20.59 | 不变 | 0.00 |
| 2 | 共青城尚纯科技产业投资合伙企业(有限合伙) | 1520.06 | 3.97 | 不变 | 0.00 |
| 3 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 776.91 | 2.03 | 增加 | 196.76 |
| 4 | 吴海华 | 651.60 | 1.70 | 不变 | 0.00 |
| 5 | 香港中央结算有限公司 | 648.46 | 1.69 | 减少 | -49.91 |
| 6 | 中国银行股份有限公司-易方达中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 384.45 | 1.00 | 增加 | 160.23 |
| 7 | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司回购专用证券账户 | 382.42 | 1.00 | 不变 | 0.00 |
| 8 | 陈江 | 264.96 | 0.69 | 增加 | 2.00 |
| 9 | 招商银行股份有限公司-广发中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 234.74 | 0.61 | 新进 | 234.74 |
| 10 | 徐慧珍 | 202.72 | 0.53 | 新进 | 202.72 |