序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	蒋渊	7886.39	20.59	减少	-163.58
2	共青城尚纯科技产业投资合伙企业(有限合伙)	1520.06	3.97	不变	0.00
3	香港中央结算有限公司	698.37	1.82	增加	354.91
4	吴海华	651.60	1.70	不变	0.00
5	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	580.16	1.51	减少	-118.13
6	上海至纯洁净系统科技股份有限公司回购专用证券账户	382.42	1.00	不变	0.00
7	高盛国际-自有资金	362.61	0.95	增加	173.54
8	MORGAN STANLEY & CO. INTERNATIONAL PLC.	272.52	0.71	新进	272.52
9	陈江	262.96	0.69	新进	262.96
10	中国银行股份有限公司-易方达中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	224.22	0.59	新进	224.22