| 流通市值：169.55亿 | 总市值：425.01亿 | ||
| 流通股本：5.89亿 | 总股本：14.77亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总流通股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 衢州市柯城区盈川产业基金管理有限公司 | 8000.00 | 13.58 | 不变 | 0.00 |
| 2 | 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 1185.32 | 2.01 | 增加 | 7.13 |
| 3 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 1120.17 | 1.90 | 减少 | -226.57 |
| 4 | 中国建设银行股份有限公司-华安汇宏精选混合型证券投资基金 | 752.53 | 1.28 | 新进 | 752.53 |
| 5 | 高盛国际-自有资金 | 618.60 | 1.05 | 新进 | 618.60 |
| 6 | 中国建设银行股份有限公司-红土创新新兴产业灵活配置混合型证券投资基金 | 598.47 | 1.02 | 新进 | 598.47 |
| 7 | 中国银行股份有限公司-易方达中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 432.39 | 0.73 | 增加 | 108.16 |
| 8 | 中国建设银行股份有限公司-信澳新能源产业股票型证券投资基金 | 410.47 | 0.70 | 减少 | -310.04 |
| 9 | 香港中央结算有限公司 | 384.18 | 0.65 | 增加 | 44.06 |
| 10 | 曾剑明 | 301.17 | 0.51 | 不变 | 0.00 |