序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	国家集成电路产业投资基金股份有限公司	39000.00	26.40	不变	0.00
2	浙江巨化股份有限公司	39000.00	26.40	不变	0.00
3	衢州恒芯企业管理合伙企业(有限合伙)	10847.03	7.34	增加	51.33
4	衢州市柯城区盈川产业基金管理有限公司	8000.00	5.42	不变	0.00
5	长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	1185.32	0.80	增加	7.13
6	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	1120.17	0.76	减少	-226.57
7	中国建设银行股份有限公司-华安汇宏精选混合型证券投资基金	752.53	0.51	新进	752.53
8	高盛国际-自有资金	618.60	0.42	新进	618.60
9	中国建设银行股份有限公司-红土创新新兴产业灵活配置混合型证券投资基金	598.47	0.41	新进	598.47
10	中国银行股份有限公司-易方达中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	432.39	0.29	新进	432.39