序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	张建辉	3069.76	9.27	不变	0.00
2	丁然	2873.41	8.68	不变	0.00
3	侯丽荣	2627.26	7.94	不变	0.00
4	龚晖	2422.27	7.32	不变	0.00
5	蔡建宇	1553.10	4.69	不变	0.00
6	唐立华	847.69	2.56	不变	0.00
7	PAN YA LING	806.53	2.44	减仓	-5.00
8	中国建设银行股份有限公司-华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金	547.84	1.66	增持	5.12
9	李龙生	538.94	1.63	不变	0.00
10	国泰君安证券股份有限公司-国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金	413.58	1.25	新增	413.58

截至2021年03月31日，有2个股东增持，共增持418.70万股，占总股本的1.26%，有1个股东减持，共减持5.00万股，占总股本的0.02%。