序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	MEMSLink Corporation	8080.00	20.11	不变	0.00
2	北京芯动联科微电子技术有限公司	5392.00	13.42	不变	0.00
3	安徽北方微电子研究院集团有限公司	5340.84	13.29	减少	-26.03
4	宣佩琦	1152.00	2.87	不变	0.00
5	北方电子研究院有限公司	906.52	2.26	减少	-10.53
6	北京国兵晟乾投资管理有限责任公司-北京市西城区晟乾成长创业投资基金合伙企业(有限合伙)	711.13	1.77	不变	0.00
7	香港中央结算有限公司	660.03	1.64	减少	-471.83
8	金晓冬	528.00	1.31	不变	0.00
9	华亚平	480.00	1.19	不变	0.00
10	北京自动化控制设备研究所	457.58	1.14	不变	0.00