| 流通市值：16.90亿 | 总市值：136.32亿 | ||
| 流通股本：4960.11万 | 总股本：4.00亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总股本比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | MEMSLink Corporation | 8080.00 | 20.20 | 不变 | 0.00 |
| 2 | 北方电子研究院有限公司 | 8000.00 | 20.00 | 不变 | 0.00 |
| 3 | 北京芯动联科微电子技术有限公司 | 5392.00 | 13.48 | 不变 | 0.00 |
| 4 | 上海宝鼎投资管理有限公司-绍兴宝鼎久磊投资合伙企业(有限合伙) | 1400.00 | 3.50 | 不变 | 0.00 |
| 5 | 宣佩琦 | 1152.00 | 2.88 | 不变 | 0.00 |
| 6 | 方正和生投资有限责任公司-安徽和壮高新技术成果基金合伙企业(有限合伙) | 960.00 | 2.40 | 不变 | 0.00 |
| 7 | 北京自动化控制设备研究所 | 957.60 | 2.39 | 不变 | 0.00 |
| 8 | 深圳一元航天私募股权基金管理有限公司-海南奎速创业投资合伙企业(有限合伙) | 880.00 | 2.20 | 不变 | 0.00 |
| 9 | 北京国兵晟乾投资管理有限责任公司-福州高新区国兵晟乾成长股权投资合伙企业(有限合伙) | 800.00 | 2.00 | 不变 | 0.00 |
| 10 | 深圳一元航天私募股权基金管理有限公司-航天京开创业投资(潍坊)合伙企业(有限合伙) | 642.40 | 1.61 | 不变 | 0.00 |