按产品分类
主营收入(万元) 收入比例(%) 主营成本(万元) 成本比例(%) 利润比例(%) 毛利率(%) 半导体工艺零部件 23903.35 62.03 17532.87 59.17 71.55 26.65 半导体结构零部件 11756.55 30.51 9648.46 32.56 23.68 17.93 其他 1445.26 3.75 1321.12 4.46 1.39 8.59 激光设备零部件 1161.35 3.01 1126.95 3.80 0.39 2.96 其他(补充) 266.73 0.69 0.07 0.00 2.99 99.97

按地域分类
主营收入(万元) 收入比例(%) 主营成本(万元) 成本比例(%) 利润比例(%) 毛利率(%) 内销 34112.72 88.53 26114.49 88.14 89.83 23.45 外销 4420.51 11.47 3514.99 11.86 10.17 20.48