按产品分类

主营收入(万元) 收入比例(%) 主营成本(万元) 成本比例(%) 利润比例(%) 毛利率(%) 半导体关键工艺零部件 35843.90 49.79 23735.27 45.25 61.98 33.78 半导体结构零部件 19799.92 27.51 15581.13 29.71 21.60 21.31 其中:匀气环 10667.14 14.82 7408.95 14.13 16.68 30.54 半导体工艺零部件 9257.32 12.86 7522.05 14.34 8.88 18.74 其中:内衬 8783.84 12.20 5648.81 10.77 16.05 35.69 其中:腔体 5468.30 7.60 4403.42 8.40 5.45 19.47 激光设备零部件 4632.04 6.43 3757.43 7.16 4.48 18.88 其中:气体分布盘 3265.01 4.54 2670.31 5.09 3.04 18.21 其中:匀气盘 2104.75 2.92 1478.76 2.82 3.20 29.74 其中:冷盘 2005.00 2.79 628.25 1.20 7.05 68.67 其他 1853.60 2.58 1775.81 3.39 0.40 4.20 其中:静电卡盘基体 1426.40 1.98 644.71 1.23 4.00 54.80 其中:加热器 1295.15 1.80 589.90 1.12 3.61 54.45 其中:多管式加热反射罩 828.32 1.15 262.16 0.50 2.90 68.35 其他(补充) 597.84 0.83 77.88 0.15 2.66 86.97

按地域分类
主营收入(万元) 收入比例(%) 主营成本(万元) 成本比例(%) 利润比例(%) 毛利率(%) 内销 55127.61 76.58 40357.56 76.95 75.61 26.79 其中:华北 33995.88 47.23 - - - - 其中:华东 18074.29 25.11 - - - - 外销 16857.03 23.42 12092.00 23.05 24.39 28.27 其中:保税区 12026.83 16.71 - - - - 其中:保税区外其他境外地区 4860.34 6.75 - - - - 其中:华南 1589.32 2.21 - - - - 其中:西南 828.92 1.15 - - - - 其中:东北 10.90 0.02 - - - - 其中:西北 0.31 0.00 - - - -