| 1 | 托伦斯精密机械(上海)有限公司 | 6118.99 | 43.99 | 不变 | 0.00 |
| 2 | 苏州晨岭投资合伙企业(有限合伙) | 510.45 | 3.67 | 不变 | 0.00 |
| 3 | 国风投(北京)智造转型升级基金(有限合伙) | 493.10 | 3.54 | 不变 | 0.00 |
| 4 | 中电科核心技术研发股权投资基金(北京)合伙企业(有限合伙) | 389.23 | 2.80 | 不变 | 0.00 |
| 5 | 启东芯起企业管理合伙企业(有限合伙) | 383.94 | 2.76 | 不变 | 0.00 |
| 6 | 青岛厚纪承泓创业投资基金合伙企业(有限合伙) | 375.96 | 2.70 | 不变 | 0.00 |
| 7 | 杭州嘉富泽昇股权投资合伙企业(有限合伙) | 295.40 | 2.12 | 不变 | 0.00 |
| 8 | 青岛新鼎啃哥盛伍创业投资基金合伙企业(有限合伙) | 276.43 | 1.99 | 不变 | 0.00 |
| 9 | 杭州嘉富泽伦股权投资合伙企业(有限合伙) | 268.56 | 1.93 | 不变 | 0.00 |
| 10 | 苏州永鑫融伦股权投资合伙企业(有限合伙) | 268.54 | 1.93 | 不变 | 0.00 |
| 11 | 共青城崇泰二号创业投资合伙企业(有限合伙) | 268.54 | 1.93 | 不变 | 0.00 |
| 12 | 北京集成电路装备产业投资并购二期基金(有限合伙) | 268.54 | 1.93 | 不变 | 0.00 |
| 13 | 青岛新鼎啃哥合叁创业投资基金合伙企业(有限合伙) | 268.54 | 1.93 | 不变 | 0.00 |