按行业分类
主营收入(万元) 收入比例(%) 主营成本(万元) 成本比例(%) 利润比例(%) 毛利率(%) 半导体设备行业 170954.25 97.49 107956.52 98.78 95.36 36.85 其他(补充) 4406.34 2.51 1338.51 1.22 4.64 69.62

按产品分类
主营收入(万元) 收入比例(%) 主营成本(万元) 成本比例(%) 利润比例(%) 毛利率(%) 光刻工序涂胶显影设备 104979.32 59.86 68441.19 62.62 55.31 34.81 单片式湿法设备 64461.62 36.76 39191.53 35.86 38.25 39.20 其他(补充) 4406.34 2.51 1338.51 1.22 4.64 69.62 其它设备 1513.31 0.86 323.80 0.30 1.80 78.60

按地域分类
主营收入(万元) 收入比例(%) 主营成本(万元) 成本比例(%) 利润比例(%) 毛利率(%) 大陆地区 160141.64 91.32 103005.50 94.25 86.48 35.68 海外地区 5549.74 3.16 2327.53 2.13 4.88 58.06 港澳台地区 5262.87 3.00 2623.49 2.40 4.00 50.15 其他(补充) 4406.34 2.51 1338.51 1.22 4.64 69.62