事件：公司公布前三季度业绩报告，2022年前三季度公司营收8.97亿元，同比增长63.87%；归母净利润1.43亿元，同比增长169.42%；扣非净利润0.99亿元，同比增长116.00%。分季度来看，2022Q3单季营收3.92亿元，同比增长99.93%，环比增长22.42%；归母净利润0.74亿元，同比增长308.63%，环比增长99.01%；扣非净利润0.33亿元，同比增长104.38%，环比下降3.21%。 业绩同比高增长，在手订单充沛。2022年Q3公司实现营收3.92亿元，同比增长99.93%；归母净利润0.74亿元，同比增长308.63%；毛利率为40.06%，同比增长2.58pct。公司归母净利润大幅增长主要系：1）随着集成电路产业面临着新型芯片和先进制程的产能扩张需求，为半导体设备行业带来广阔市场空间。2）公司收到商业秘密维权赔偿金4000万元。3）公司不断突破关键技术，产品竞争力持续增强。前三季度公司存货12.87亿元，同比2021年末增长38.03%；合同负债6.04亿元，同比2021年末增长71.29%，订单或较充沛有望支撑业绩增长。费用方面，公司2022前三季度销售费用、管理费用、研发费用及财务费用分别为0.70/0.88/0.95/-0.02亿元，合计费用率27.94%。现金流管控方面，前三季度公司销售回款情况良好，经营活动产生的现金流量净额为0.56亿元，同比大幅由负转正，公司内部经营管理水平不断提升。 前道设备持续发力，化学清洗机有望开拓成长空间。在前道涂胶显影领域，公司前道涂胶显影设备在28nm及以上工艺节点的多项关键技术方面取得突破并具备快速实现国产替代的技术实力；其中offline、I-line、KrF机台均实现批量销售，陆续获得长江存储、合肥长鑫、中芯京城等多个前道大客户订单，订单规模同比大幅增长。在前道物理清洗领域，公司物理清洗机SpinScrubber设备达国际先进水平并成功实现国产替代，获得中芯国际、上海华力等多个前道大客户的批量重复订单，国内市场占有率稳步提升。公司正研发的前道化学清洗机可应用于更高工艺等级的前道晶圆制造环节。未来随着前道化学清洗设备的工艺验证及商业化推广，将进一步丰富公司产品矩阵，有望为公司在高端设备领域注入核心竞争力和增长力。 募集资金突破产能瓶颈，长期成长动力充足。公司通过定增募集10亿元用于上海临港研发及产业化项目、高端晶圆处理设备产业化项目（二期）。 其中上海临港研发及产业化项目主要用于研发与生产前道ArF光刻工艺涂胶显影机、浸没式光刻工艺涂胶显影机及单片式化学清洗机等高端半导体专用设备；高端晶圆处理设备产业化项目（二期）主要用于前道I-line与KrF光刻工艺涂胶显影机、前道Barc（抗反射层）涂胶机以及后道先进封装Bumping制备工艺涂胶显影机。项目的实施将提升公司现有量产半导体设备的供货能力，并强化公司在高端设备领域的技术优势并丰富产品结构，提升公司产品的竞争力。 首次推荐，给予“买入”评级：公司是国内涂胶显影设备龙头，同时积极开拓清洗设备市场构筑长期成长空间。公司生产的涂胶显影设备产品成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，应用于逻辑、存储、功率器件、其他特种工艺等下游客户；单片式清洗机SpinScrubber设备在多项关键技术取得突破，成功实现进口替代；用于更高工艺等级的化学清洗机研发持续推进中。随着国内众多晶圆厂的持续扩产叠加国产替代需求强劲提供的发展机遇，公司将持续受益。同时随着募投项目产能的逐步释放，公司业绩有望实现高增长。预计公司2022-2024年归母净利润分别为1.74/2.37/3.04亿元，EPS为1.88/2.56/3.29元，对应PE分别约为138X、101X、79X，给予“买入”评级。 风险提示：晶圆厂扩产不及预期风险；市场竞争风险；技术迭代风险；新产品推广不及预期风险。

Q3 营收符合预期，利润水平超预期。公司前三季度实现营收近9 亿元，同比增64%，实现归母净利润1.4 亿元，同比增169%。其中第三季度公司实现营业收入3.9 亿元，同比增100%， 实现归母净利润0.74 亿元，同比增309%，部分受益于收到A 公司支付的商业秘密维权赔偿金0.4 亿元，扣非归母净利润0.33 亿元，同比增104%，三季度毛利率40.1%，相比二季度变化幅度较小。 前道涂胶显影机：I-line、KrF 产品实现批量销售，ArFi 产品有望逐步贡献成长新动能。市场开拓进展顺利：随着公司前道涂胶显影机各项技术的突破与进步，前道涂胶显影机产品竞争力不断增强，客户认可度持续提升。I-line、KrF 机台获得了多家头部晶圆厂的小批量重复订单，客户涵盖中芯京城、上海华力、长江存储、合肥长鑫、厦门士兰集科等国内主流客户。工艺技术持续取得突破：光刻胶涂覆缺陷及成本控制技术、在线式工艺缺陷检测技术均达到国际先进水平。产品平台不断迭代升级，拓宽护城河：公司在前道涂胶显影机的高产能架构方面推进顺利，已应用完全自主知识产权的创新平台，通过工艺单元双侧对称布置及机械手双侧同时取片，满足光刻机不断提升的产能需求，并可覆盖浸没式等前沿光刻技术并向下兼容。 前道清洗机：物理清洗机达到国际先进水平，化学清洗机研发进展顺利。公司生产的集成电路前道晶圆加工领域用物理清洗机 Spin Scrubber 设备已经达到国际先进水平并成功实现国产替代，获得了中芯国际、上海华力、青岛芯恩、武汉新芯、北京燕东等多个前道大客户的批量重复订单，国内市场占有率稳步提升。化学清洗领域，公司正研究解决湿法设备关键技术，制作样机进行工艺验证，进一步优化单元和整机设计，提高产品的可靠性、稳定性，进一步提升产品的技术等级和应用范围。 持续完善销售、技术服务网络，业务拓展有望继续加速。公司以沈阳为销售总部，在上海建立了全资子公司，将实现 靠近客户、靠近人才、靠近供应链的战略目标。 同时公司在苏州、昆山、武汉、中国台湾等地设有办事处，销售网络覆盖长三角、珠三角及中国台湾地区等产业重点区域，建立了快速响应的销售和技术服务团队。 我们预测公司22-24 年归母净利润分别为1.86、2.45、3.75 亿元（原22-24 年预测为1.40、2.37、3.54 亿元，上调了营业外收入和毛利率、管理费用率假设），由于前道涂胶显影设备国产化空间巨大，我们采用绝对估值法（FCFF），给予325.82元目标价，维持买入评级。 风险提示 半导体设备行业景气度不及预期；客户验证进展不及预期；零部件断供风险；盈利能力改善不及预期；市场份额提升不及预期。

2022H1业绩高增长。 2022H1，公司实现营业收入 5.04亿元，同比增长 43.70%；归母净利润 0.69亿元，同比增长 97. 91%； 扣非归母净利润0.66亿元，同比增长 122.41%。 2022Q2，公司实现营业收入 3.21亿元，环比增长 74.48%；归母净利润 0.37亿元，环比增长 14.13%；扣非归母净利润 0.34亿元，环比增长 9.95%。 涂胶显影机国内龙头， 前道设备实现批量化销售。 作为与光刻机配合进行作业的关键处理设备，公司生产的涂胶显影设备成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，其中在集成电路制造后道先进封装和 LED 芯片制造等环节，作为国内厂商主流机型已成功实现国产替代。公司的前道涂胶显影设备客户包括中芯京城、上海华力、长江存储、合肥长鑫、武汉新芯、等。 2022H1，公司 offline、 I-l ine、 KrF 机台均实现了批量销售新签订单规模同比大幅增长，其中 I-l ine、 KrF 涂胶显影机获得了多家头部晶圆厂的小批量重复订单。 前道涂胶显影设备多项关键技术取得突破。 2022H1， 公司前道涂胶显影设备在 28nm 及以上工艺节点的多项关键技术方面取得突破：光刻胶涂覆缺陷及成本控制技术、在线式工艺缺陷检测技术均已达到国际先进水平，前道物理清洗机在自动刷压控制技术上已达到国际先进水平。 研发高投入，核心技术自研。 公司研发人员占总员工比例超过 35%。 2022H1，公司研发支出 0.43亿元，占营业收入的 8. 47%。通过多年的技术积累以及承担国家 02重大专项，公司已经成功掌握多种半导体设备产品核心技术，并拥有多项自主知识产权。 截至 2022年 6月 30日，公司共获得专利授权 237项，其中发明专利 167项，实用新型专利 41项，外观设计专利 29项；拥有软件著作权 56项。 投资建议预计公司 2022-2024年收入分别为 13.22/18.53/25.02亿元，同比增长59.6%/40.1%/35.0%，净利润分别为 1.41/2.15/3.15亿元，同比增长82.4%/52.3%/46.6%。 当前价格对应 2022年的 PE 为 117倍。 考虑到公司市场需求旺盛， 持续受益于国产替代， 首次覆盖给予“买入”评级。 风险提示产品开拓不及预期， 行业竞争加剧， 下游晶圆制造行业发展不及预期。

事件：2022年 8月 26日，公司发布 2022年半年度报告：公司 2022H1营业收入为 5.04亿元，同比增长 43.70%；归母净利润为 0.69亿元，同比增长 97.91%； 扣非归母净利润为 0.66亿元，同比增长 122.41%；毛利率为 40.12%，同比减少 0.65pcts；净利率为 13.76%，同比增长 3.77pcts。 公司 2022Q2营业收入为 3.21亿元，环比增长 74.48%，同比增长 34.97%；归母净利润为 0.37亿元，环比增长 14.13%，同比增长 29.50%；扣非归母净利润为 0.34亿元，环比增长 9.95%，同比增长 37.98%；毛利率为 40.9%，同比减少 2.19pcts；净利率为 11.54%，同比减少 0.49pcts。 点评：公司 22H1营收同比+44%，扣非净利润同比+122%，22Q2新签订单高速增长。公司 22H1营业收入同比+44%，扣非净利润同比+122%，主要系半导体行业景气度持续向好，同时公司产品竞争力不断增强，新签订单同比大幅增长，收入规模持续增长。公司 22Q2新签订单保持了高速增长的趋势，前道领域签单实现了快速放量，目前在手订单饱满。公司 22H1合同负债为 6.28亿元，相比22Q1+45%，存货为 11.66亿元，相比 22Q1+8%，订单情况良好。 公司 I-line、KrF 涂胶显影机获多家头部晶圆厂小批量重复订单，前道物理清洗、后道先进封装和小尺寸领域持续提升竞争力。公司 offline、I-line、KrF 机台均实现了批量销售，前道涂胶显影机新签订单规模同比大幅增长，其中公司 I-line、KrF 涂胶显影机获得了多家头部晶圆厂的小批量重复订单，客户包括中芯京城、上海华力、长江存储、合肥长鑫、武汉新芯、厦门士兰集科、上海积塔、株洲中车、青岛芯恩、中芯绍兴、中芯宁波等；前道物理清洗机陆续获得了中芯国际、上海华力、青岛芯恩、武汉新芯、北京燕东等多个前道大客户的批量重复订单，国内市场占有率稳步提升；后道涂胶显影和单片式湿法设备作为主流机型已批量应用于台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、中芯绍兴、中芯宁波等国内一线大厂，获得了多家封装厂商的批量重复订单；小尺寸涂胶显影与单片式湿法设备，作为主流机型已批量应用于三安集成、中芯宁波、中电科集团、士兰明镓、华灿光电等国内一线大厂，已经成为客户端的主力量产设备。 盈利预测、估值与评级：芯源微涂胶显影设备和清洗设备有望随着下游客户验证及导入的加速而持续放量，我们维持公司 2022年的归母净利润为 1.42亿元，考虑到公司前道领域签单快速放量，上调 2023-2024年的归母净利润分别为2.28亿元（上调 9.1%）、3.29亿元（上调 17.5%），当前市值对应的 PS 分别为 14x、9x、7x，维持“买入”评级。 风险提示：客户集中度高的风险，技术研发不及预期，下游应用及需求不及预期。

事件概述： 公司发布2022年中报：上半年实现营收5.04亿元，同比+44%，归母净利0.69亿元，同比+98%，扣非归母净利0.66亿元，同比+122%。经测算，公司22Q2实现营收3.21亿元，同比+35%、环比+74%，该季归母净利为0.37亿元，同比+30%、环比+16%，对应扣非归母净利为0.34亿元，同比+38%、环比+10%。 前道设备快速放量，大客户持续突破 公司22年H1营收、净利实现大幅增长，主要系各类设备的放量出货：1）前道涂胶显影设备，offline、I-line、KrF 机台均实现了批量销售；2）前道物理清洗设备，2022年H1获得中芯国际、上海华力、青岛芯恩、武汉新芯等国内多个前道大客户的重复订单；3）后道先进封装相关设备，已成为台积电、长电科技、华天科技等国内一线大厂的主力量产设备，正处于持续出货中；4）小尺寸设备，目前作为主流机型已批量应用于三安光电、中芯宁波等国内大客户，报告期内市场地位进一步巩固。 28nm技术取得突破，成长动能强劲 1）22H1公司在涂胶显影28nm技术上取得重要突破：光刻胶涂覆缺陷及成本控制技术、在线式工艺缺陷检测技术均达到国际先进水平；高产能架构方面也取得相应进展，未来可覆盖浸没式等前沿光刻技术。2）前道设备进入快速放量期：上半年公司前道涂胶显影机新签订单规模同比大幅增长，已陆续获得了中芯京城、上海华力、长江存储、合肥长鑫、武汉新芯、厦门士兰集科等主要晶圆厂客户的订单，前道物理清洗国内市占率稳步提升；3）后道设备市场地位进一步巩固：后道涂胶显影设备和单片式湿法设备部分技术已领先于国际知名企业，产品已批量应用于台积电、长电科技等海内外头部封测厂，未来公司将加大中国台湾和海外市场的开拓，小尺寸设备主力机型有望随客户扩产获得更多销售。22Q2季末公司合同负债达6.28亿元，较2021年底增加2.75亿元，显现良好成长动能。 临港项目紧张进行，奠定高端业务产能基础 公司募投项目上海芯源微临港生产基地，已于22H1完成了整体设计和土地打桩，工程建设仍在进行中。公司计划用募投资金2.5亿元增资上海芯源微，给予临港项目充分的资金保障。临港项目计划投资6.4亿元，达产后主要生产前道ArF涂胶显影机、浸没式涂胶显影机、单片化学清洗机等高端设备。 投资建议 我们维持对公司2022/23/24年收入13.1/17.3/26.3亿元的预测不变，维持同期归母净利1.4/2.1/3.3亿元的预测不变，对应PS为13/10/7倍。公司作为国产涂胶显影设备龙头，竞争优势有望进一步巩固。我们维持公司的“买入”评级。 风险提示 下游景气不及预期，研发验证不及预期，募投项目进展不及预期。

8月 25日，芯源微发布 2022年中报，公司 22H1实现营收 5.04亿元，同比增长 43.70%；实现归母净利润 0.69亿元，同比增长 97.91%；实现扣非净利润0.66亿元，同比增长 122.41%。 主业稳健增长，盈利稳步提升。2022年上半年，尽管有多地疫情影响，公司仍旧实现了收入的高增长，营收达 5.04亿元，同比增长 43.70%，其中单二季度营收 3.21亿元，提供比增长 34.97%，环比增长 74.47%。盈利端，公司 22H1实现归母净利润 0.69亿元，同比增长 97.91%；实现扣非净利润 0.66亿元，同比增长 122.41%，归母/扣非净利率分别达到 13.76%/13.05%，较去年同期提升3.77/5.35pct，盈利能力稳健提升。值得注意的是，公司 22Q2单季度毛利率达40.90%，环比提升 2.15pct。 资产负债端，公司 2021年底存货上升至 11.66亿元，较年初增长 2.34亿元； 合同负债达到 6.28亿元，较年初增长 2.72亿元，体现在手订单的大幅增长。 前道设备进入收获期。2021年公司收入结构以后道封装、小尺寸设备为主，2022年来公司前道涂胶显影设备在 28nm 及以上工艺节点的多项关键技术方面取得突破，前道涂胶显影和物理清洗机多项技术达到国际先进水平。2022年上半年，公司 offline、I-line、KrF 机台均实现了批量销售，前道涂胶显影机新签订单规模同比大幅增长，其中公司 I-line、KrF 涂胶显影机获得了多家头部晶圆厂的小批量重复订单，前道涂胶显影设备客户覆盖中芯京城、上海华力、长江存储、合肥长鑫、武汉新芯、厦门士兰集科、上海积塔等多个龙头客户。 物理清洗机方面，公司 Spin Scrubber 设备已经达到国际先进水平并成功实现国产替代，上半年陆续获得了中芯国际、上海华力、青岛芯恩、武汉新芯、北京燕东等多个前道大客户的批量重复订单，国内市场占有率稳步提升。 先进封装设备出海发力，定增加码产品线再拓宽。在后道封装市场，公司积极拓展了日月光、矽品科技等封装客户，涂胶显影和单片湿法设备已经批量应用于台积电等龙头晶圆厂，已经成为客户端的主力量产设备，未来公司仍将继续加大力度持续开拓中国台湾以及海外市场。 同时，公司亦于 2022年上半年完成定增，共计募集资金 10亿元，将投向上海临港和沈阳二期项目，在涂胶显影产品线将进一步拓展前道 ArF/ArF-i 设备，单片湿法设备将步入单片式化学清洗市场。 投资建议：我们预计公司 2022-2024年营收分别为 13.22/19.36/25.87亿元，对应现价 PS 分别为 13/9/7倍。考虑到公司 22H1利润率的提升趋势，上调 2022-2024年利润预测至 1.57/2.66/3.69亿元，对应现价 PE 分别为110/65/47倍。继续看好公司业务成长性，维持“推荐”评级。 风险提示：产品验证不及预期；下游行业周期性波动；市场竞争加剧。

国内涂胶显影设备龙头，2022H1业绩高增长，维持“买入”评级2022年8月25日公司发布半年报，2022H1营收5.04亿元，同比+43.70%；归母净利润0.69亿元，同比+97.91%；扣非净利润0.66亿元，同比+122.41%。计算得2022Q2单季度营收3.21亿元，同比+34.97%，环比+74.48%；归母净利润0.37亿元，同比+29.50%，环比+14.13%；扣非净利润0.34亿元，同比+37.98%，环比+9.95%。公司为国内涂胶显影设备龙头，国产替代背景下，成长动力充足，我们上调盈利预测，2022-2024年归母净利润预计为1.59（+0.22）/2.52（+0.26）/3.50（+0.35）亿元，EPS预计为1.72（+0.09）/2.73（+0.05）/3.79（+0.04）元，当前股价对应PE为109.3/68.8/49.5倍，维持“买入”评级。 公司技术持续突破，客户资源优秀，前景可期2022H1公司前道涂胶显影设备在28nm及以上工艺节点的多项关键技术取得突破：光刻胶涂覆缺陷及成本控制技术、在线式工艺缺陷检测技术、自动刷压控制技术均已达国际先进水平。前道涂胶显影：：offine、I-ine、KrF机台均批量销售，已陆续获得了中芯京城、上海华力、长江存储、合肥长鑫、武汉新芯、士兰集科、上海积塔、株洲中车、青岛芯恩、中芯绍兴、中芯宁波、京东方等多个前道大客户订单，新签订单规模同比大幅增长，I-ine、KrF获多家头部晶圆厂小批量重复订单。前道物理清洗：：SpinScrubber已达国际先进水平，获中芯国际、上海华力、青岛芯恩、武汉新芯、北京燕东等多个客户批量重复订单。后道先进封装：涂胶显影设备和单片式湿法设备部分技术已领先于国际知名企业，目前作为主流机型已批量应用于台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、中芯绍兴、中芯宁波等客户，已成为客户端的主力量产设备。化合物、MEMS、LED等小尺寸领域：小尺寸涂胶显影设备与单片式湿法设备已批量应用于三安集成、中芯宁波、中电科集团、士兰明镓、华灿光电、江西兆驰、东莞中图、乾照光电、北京赛微等客户，已成为客户端的主力量产设备，未来公司市场份额有望继续提升。 风险提示：下游景气度不及预期、技术研发不及预期、行业竞争加剧。

事件：公司公告 22H1实现营收 5.04亿元，同比增长 44%；归母净利润 0.69亿元，同比增长 98%；实现扣非归母净利润 0.66亿元，同比增长 122%。公司 Q2实现营收 3.21亿元，同比增长 35%；归母净利润 0.37亿元，同比增长 30%。 公司在手订单饱满，合同负债继续提升。随着公司产品的规模化效应体现，公司毛利率继续提升。公司 22Q2毛利率达到 40.9%，环比 22Q1增长约 2.2个百分点。 预计随着后续前道涂胶显影机设备逐步成熟，将带动公司毛利率继续提升。公司上半年期间费用保持稳定，其中研发费用率在 Q2有所提升。22Q2，公司合同负债从上季度的 4.34亿元上升到 6.28亿元，呈现继续增长态势。公司合同负债的增长反映新签订单规模继续保持快速增长。 前道涂胶显影机订单同比大幅增长。目前公司的前道涂胶显影设备在 28nm 及以上工艺节点的多项关键技术方面取得突破，其中光刻胶涂覆缺陷及成本控制技术、在线式工艺缺陷检测技术均已达到国际先进水平，而前道物理清洗机在自动刷压控制技术上已达到国际先进水平。上半年，公司的 offline、I-line、KrF 机台均实现了批量销售；前道涂胶显影机新签订单规模同比大幅增长，其中公司 I-line、KrF涂胶显影机获得了多家头部晶圆厂的小批量重复订单。 公司后道设备地位稳固。公司的后道涂胶显影设备和单片式湿法设备部分技术已领先于国际知名企业，目前作为主流机型已批量应用于台积电、长电科技等一线厂商，且未来将持续开拓中国台湾以及海外市场。 公司高端产品进展顺利。公司前道涂胶显影机的高产能架构取得相应进展，将作为公司未来的通用性基础平台，覆盖浸没式等前沿光刻技术并向下兼容。公司的单片式湿法设备在持续研发阶段，目前处于制造样机进行工艺验证阶段。高端产品的顺利拓展将打开成长空间。 投资建议：我们预计公司 2022/2023/2024年营收 13.46/19.11/26.48亿元，对应PS 分别为 12.88/9.08/6.55倍，归母净利润分别为 1.43/2.19/3.27亿元，对应 PE分别为 122/79/53倍。公司作为半导体设备细分领域龙头，具有极好成长性，维持“买入”评级。 风险提示：公司新产品研发进度不及预期、下游晶圆厂扩产放慢、竞争加剧风险。

事件：公司发布2022年中报。2022H1公司实现营业收入5.04亿元，同比+；实现扣非归母净利润0.66亿元，同比+122.4%。 收入端延续高速增长，前道涂胶显影订单快速放量2022H1公司实现营业收入5.04亿元，同比+；其中Q2营业收入为3.21亿元，同比+35.0%，基本符合我们预期。Q2收入增速略有放缓，我们判断主要系疫情影响供应链和客户交付验证。分行业来看，后道封装+小尺寸仍为公司主要收入来源，我们判断2022H1收入占比可达70%。受交付节奏影响，我们判断2022H1前道产品（涂胶显影机+物理清洗机）收入占比约为，和2021年基本持平。截至2022H1末，公司合同负债和存货分别达到6.28和11.66亿元，分别同比+183%和+，分别较2021年底增长78%和25%。公司在手订单饱满，尤其前道涂胶显影设备订单快速放量。随着沈阳新厂投产，上海临港项目顺利推进，公司募投产能正在快速释放，下半年有望加速交付，2022年业绩有望实现快速增长。 研发费用率大幅下降，驱动盈利水平明显提升2022H1公司归母净利润和扣非归母净利润分别为0.69和0.66亿元，分别同比+97.9%和+122.4%。2022H1公司销售净利率和扣非销售净利率分别为13.76%和，分别同比+3.77pct和+4.62pct，盈利水平明显提升。1）毛利端：2022H1销售毛利率为，同比-0.64pct，略有下降。2）费用端：2022H1期间费用率为，同比-6.54pct，是盈利水平上升主要驱动力。2022H1销售、管理、研发和财务费用率分别同比-0.72、+0.50、-5.61和-0.71pct，研发费用率大幅下降，主要系研发阶段性波动影响，部分研发项目处于设计阶段，研发材料采购领用存在滞后效应。 前道产品线持续丰富完善，公司成长空间不断打开中长期看，公司积极丰富前道涂胶显影&清洗设备产品线，成长空间持续打开。①涂胶显影设备：Off-line、I-line、KrF机台均实现批量销售，前道涂胶显影机新签订单规模同比大幅增长，其中I-line、KrF涂胶显影机获得了多家头部晶圆厂的小批量重复订单，向先进制程产品延伸，将彻底打开公司在涂胶显影领域的成长空间。②清洗设备：前道SpinScrubber单片式物理清洗机已较为成熟，成功实现进口替代。2021年募投项目加码市场空间更大的单片式化学清洗机，有望成为第二成长曲线。 盈利预测与投资评级：考虑到公司在手订单饱满，我们维持2022-2024年营业收入预测分别为13.56、19.35和27.17亿元，当前市值对应动态PS分别为13、9和6倍；维持2022-2024年归母净利润预测分别为1.43、2.19和3.49亿元，当前市值对应动态PE分别为121、79和50倍。基于公司较高的成长性，维持“增持”评级。 风险提示：半导体行业投资下滑，新品研发&产业化不及预期等。

公司2022Q1营收1.8亿元，同比增长62%；扣非归母净利润0.3亿元，同比增长580%。单季度毛利率38.75%，同比提升2.89%、环比提升3.59%。2022Q1末，公司合同负债4.34亿元，环比提升0.81亿元。公司存货10.82亿元，环比提升1.50亿元。沈阳疫情期间，公司封闭运作生产，影响有限；在手订单饱满，前道比例大幅提升，预示公司未来收入结构将有较大变化。全球设备市场再度超预期，国内增速更有潜力。根据ICinsights预计，2022年全球半导体capex增长24%，超过此前预期，晶圆设备需求持续强劲。海外设备龙头订单普遍饱满，短期受零部件及供应链限制。 中国大陆2021年设备进口金额211亿美元，同比增长55%，大陆需求快速增长；大陆中芯北方、长存二期、长鑫二期等诸多晶圆厂需求增加，且国产替代趋势持续加强。持续实现产品迭代与技术进展。公司持续推进产品技术完善，在核心零部件、单元技术、整机产品研发取得实质进展。公司前道track在28nm及以上多项技术及高产能结构方面取得进展，并实现多种核心零部件的国产替代。此外，公司前道物理清洗设备已经达到国际先进水平并成功实现国产替代。根据招标网，2022年4月中标设备总计219台，其中中国厂商中标设备129台，芯源微中标6台，其中5台清洗设备，1台涂胶显影设备。新增产能开始释放，打开产能瓶颈。公司在飞云厂区基础上，2021年底新开出彩云路厂区，显著增加了厂区空间，2022年产值上限将大幅提高。公司定增加速上海临港厂区和彩云路二期投建，为后续增长打下产能基础，并进一步深入布局KrF和ArFi技术，提升公司核心竞争力。半导体前道设备弹性标的，业绩高速增长。公司涂胶显影设备在手订单饱满，新产能投入显著提高产能弹性。前道设备i-line、krf有望先后验证通过，持续迭代。 长期看，随着下游晶圆厂持续扩产，国产替代加速放量，公司是国内唯一中高端涂胶显影供应商，格局好、成长性强。预计公司2022~2024年归母净利润1.45/1.85/2.70亿元，维持“买入”评级。风险提示：新产品研发进展不及预期、下游需求不及预期