| 2025-12-08 | 股东大会 | 于2025-12-08召开2025年第三次临时股东大会 |
| 2025-12-01 | 股东大会 | 于2025-12-01召开2025年第三次临时股东大会 |
| 2025-11-24 | 沪深港通 | 11-24深股通成交总额18.82亿元 |
| 2025-11-22 | 股权激励 | 本激励计划为股票期权激励计划。标的股票来源为公司向激励对象定向发行的本公司人民币A股普通股股票。公司拟向激励对象授予1,046.5975万份股票期权,涉及的标的股票种类为人民币A股普通股,约占本激励计划草案公告时公司股本总额724,475,958股的1.4446%。本次股权激励计划授予股票期权的行权价格为235.74元/股。本激励计划授予的激励对象共计2,306人,本次授予的股权激励计划有效期不超过84个月,自股东大会审议通过之日起至激励对象获授的所有股票期权行权或注销完毕之日止。(董事会预案) |
| 2025-11-21 | 沪深港通 | 11-21深股通成交总额14.58亿元 |
| 2025-11-20 | 沪深港通 | 11-20深股通成交总额7.994亿元 |
| 2025-11-18 | 沪深港通 | 11-18深股通成交总额15.26亿元 |
| 2025-11-18 | 投资互动 | 新增1条投资者互动内容。 |
| 2025-11-17 | 股东户数 | 截止2025-10-31，公司A股股东户数为88318户，较上期（2025-10-20）增加1301户，变动幅度1.50% |
| 2025-11-17 | 股东户数 | 截止2025-11-10，公司A股股东户数为87198户，较上期（2025-10-31）减少1120户，变动幅度-1.27% |
| 2025-11-17 | 投资互动 | 新增6条投资者互动内容。 |
| 2025-11-17 | 股东户数 | 截止2025-10-20，公司A股股东户数为87017户，较上期（2025-10-10）增加2634户，变动幅度3.12% |
| 2025-11-12 | 沪深港通 | 11-12深股通成交总额11.27亿元 |
| 2025-11-10 | 沪深港通 | 11-10深股通成交总额11.79亿元 |
| 2025-11-06 | 沪深港通 | 11-06深股通成交总额11.97亿元 |
| 2025-11-06 | 大宗交易 | 成交均价411.00元，溢价0.00%，成交量26.7万股，成交金额1.097亿元 |
| 2025-11-04 | 沪深港通 | 11-04深股通成交总额13.74亿元 |
| 2025-11-03 | 沪深港通 | 11-03深股通成交总额14.8亿元 |
| 2025-10-31 | 三季报预披露 | 于2025-10-31披露2025年三季报 |
| 2025-10-31 | 股东户数 | 截止2025-09-30，公司A股股东户数为85087户，较上期（2025-09-19）增加8821户，变动幅度11.57% |
| 2025-10-31 | 项目投资 | 股票增发募集资金，计划总投资额合计69.52亿元，用于项目：半导体装备产业化基地扩产项目(四期)、高端半导体装备研发项目 |
| 2025-10-31 | 三季报披露 | 2025年三季报归属净利润51.3亿元，同比增长14.83%，基本每股收益7.109元 |
| 2025-10-30 | 沪深港通 | 10-30深股通成交总额12.11亿元 |
| 2025-10-28 | 沪深港通 | 10-28深股通成交总额13.75亿元 |
| 2025-10-27 | 沪深港通 | 10-27深股通成交总额15.81亿元 |
| 2025-10-24 | 沪深港通 | 10-24深股通成交总额11亿元 |
| 2025-10-20 | 沪深港通 | 10-20深股通成交总额11.6亿元 |
| 2025-10-17 | 沪深港通 | 10-17深股通成交总额10.91亿元 |
| 2025-10-15 | 沪深港通 | 10-15深股通成交总额18亿元 |
| 2025-10-14 | 沪深港通 | 10-14深股通成交总额16.51亿元 |