| 2025-08-29 | 股东大会 | 于2025-08-29召开2025年第一次临时股东大会 |
| 2025-08-28 | 中报预披露 | 于2025-08-28披露2025年中报 |
| 2025-08-11 | 高管减持 | 何少锋(核心技术人员)减持2万股，交易均价：142.88元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2025-08-08 | 高管减持 | 何少锋(核心技术人员)减持2万股，交易均价：131.88元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2025-07-29 | 高管减持 | 何少锋(核心技术人员)减持2万股，交易均价：121.88元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2025-07-28 | 龙虎榜 | 买入总额4.936亿元，卖出总额4.152亿元，上榜原因：有价格涨跌幅限制的连续3个交易日内收盘价格涨幅偏离值累计达到30%的证券 |
| 2025-07-28 | 龙虎榜 | 买入总额3.048亿元，卖出总额2.78亿元，上榜原因：有价格涨跌幅限制的日收盘价格涨幅达到15%的前五只证券 |
| 2025-07-28 | 高管减持 | 何少锋(核心技术人员)减持10万股，交易均价：108.98元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2025-07-24 | 高管减持 | 何少锋(核心技术人员)减持2万股，交易均价：91.49元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2025-07-23 | 投资互动 | 新增1条投资者互动内容。 |
| 2025-07-23 | 投资互动 | 新增4条投资者互动内容。 |
| 2025-07-07 | 投资互动 | 新增7条投资者互动内容。 |
| 2025-06-27 | 高管减持 | 何少锋(核心技术人员)减持3.53万股，交易均价：80.14元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2025-06-25 | 投资互动 | 新增1条投资者互动内容。 |
| 2025-06-23 | 投资互动 | 新增2条投资者互动内容。 |
| 2025-06-18 | 重要合同 | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司与某公司，签订设备购销合同，合同金额：1.46亿元。 |
| 2025-06-17 | 分红送转 | 2024年度分配10派3.7元(含税)，股权登记日2025-06-17，除权除息日2025-06-18 |
| 2025-06-17 | 投资互动 | 新增2条投资者互动内容。 |
| 2025-06-17 | 分红送转 | 2024年度分配10派3.70元(含税)，股权登记日2025-06-17，除权除息日2025-06-18 |
| 2025-05-14 | 股东大会 | 于2025-05-14召开2024年年度股东大会 |
| 2025-05-12 | 投资互动 | 新增2条投资者互动内容。 |
| 2025-05-06 | 高管减持 | 何少锋(核心技术人员)减持2.47万股，交易均价：75.95元，变动途径：二级市场买卖 |
| 2025-04-28 | 机构调研 | 于2025-04-24接待调研，参与对象：宝盈基金管理有限公司等，参与方式：业绩说明会,电话会议 |
| 2025-04-24 | 年报预披露 | 于2025-04-24披露2024年年报 |
| 2025-04-24 | 一季报预披露 | 于2025-04-24披露2025年一季报 |
| 2025-04-24 | 一季报披露 | 2025年一季报归属净利润5187万元，同比增长30.45%，基本每股收益0.39元 |
| 2025-04-24 | 年报披露 | 2024年年报归属净利润1.607亿元，同比下降10.38%，基本每股收益1.23元 |
| 2025-04-24 | 分红送转 | 2024年度分配10派3.70元(含税)(董事会预案) |
| 2025-04-24 | 股东户数 | 截止2025-03-31，公司A股股东户数为11408户，较上期（2024-12-31）增加618户，变动幅度5.73% |
| 2025-04-24 | 项目投资 | 股票增发募集资金，计划总投资额合计10.99亿元，用于项目：直写光刻设备产业应用深化拓展项目、补充流动资金项目、关键子系统、核心零部件自主研发项目、IC载板、类载板直写光刻设备产业化项目 |