| 流通市值：50.27亿 | 总市值：78.84亿 | ||
| 流通股本：7818.94万 | 总股本：1.23亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总流通股本持股比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 翁伟芳 | 242.37 | 3.09 | 增加 | 40.96 |
| 2 | 鹏鼎控股(深圳)股份有限公司 | 224.00 | 2.85 | 增加 | 64.00 |
| 3 | 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 175.49 | 2.24 | 增加 | 52.37 |
| 4 | 庄建华 | 173.09 | 2.21 | 增加 | 49.45 |
| 5 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 166.71 | 2.12 | 增加 | 25.86 |
| 6 | 黄庆仰 | 165.55 | 2.11 | 新进 | 165.55 |
| 7 | 陈小华 | 124.04 | 1.58 | 增加 | 35.44 |
| 8 | 江苏艾森半导体材料股份有限公司回购专用证券账户 | 114.40 | 1.46 | 不变 | 0.00 |
| 9 | 天津京东方创新投资有限公司 | 105.04 | 1.34 | 新进 | 105.04 |
| 10 | 赵欢 | 103.55 | 1.32 | 新进 | 103.55 |