序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	张兵	2664.43	21.67	增加	761.26
2	蔡卡敦	958.70	7.80	增加	273.91
3	昆山艾森投资管理企业(有限合伙)	821.74	6.68	增加	234.78
4	翁伟芳	242.37	1.97	增加	40.96
5	鹏鼎控股(深圳)股份有限公司	224.00	1.82	增加	64.00
6	长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	175.49	1.43	增加	52.37
7	庄建华	173.09	1.41	增加	49.45
8	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	166.71	1.36	增加	25.86
9	黄庆仰	165.55	1.35	新进	165.55
10	陈小华	124.04	1.01	新进	124.04