序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	张兵	1903.16	21.59	不变	0.00
2	蔡卡敦	684.78	7.77	不变	0.00
3	昆山艾森投资管理企业(有限合伙)	586.96	6.66	不变	0.00
4	翁伟芳	201.41	2.29	增加	12.35
5	鹏鼎控股(深圳)股份有限公司	160.00	1.82	不变	0.00
6	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	140.85	1.60	新进	140.85
7	昆山世华管理咨询合伙企业(有限合伙)	130.90	1.49	减少	-15.00
8	庄建华	123.64	1.40	不变	0.00
9	长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	123.12	1.40	新进	123.12
10	江苏艾森半导体材料股份有限公司回购专用证券账户	114.40	1.30	不变	0.00