序号	股东名称	持股数(万股)	占总股本持股比例(%)	变动类型	变动数量(万股)
1	沈琦	10472.19	22.00	不变	0.00
2	沈馥	9603.13	20.18	不变	0.00
3	沈锡强	912.00	1.92	不变	0.00
4	广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	529.92	1.11	减少	-120.36
5	香港中央结算有限公司	410.33	0.86	减少	-64.38
6	中国人寿保险股份有限公司-传统-普通保险产品-005L-CT001沪	398.80	0.84	减少	-121.34
7	王卫列	299.00	0.63	新进	299.00
8	国家集成电路产业投资基金股份有限公司	289.96	0.61	减少	-265.40
9	中国人寿保险股份有限公司-分红-个人分红-005L-FH002沪	271.48	0.57	减少	-76.58
10	骆颖	228.00	0.48	新进	228.00