| 流通市值：43.22亿 | 总市值：76.47亿 | ||
| 流通股本：9962.54万 | 总股本：1.76亿 |
| 序号 | 股东名称 | 持股数(万股) | 占总股本比例(%) | 变动类型 | 变动数量(万股) |
| 1 | 苏州华丰投资中心(有限合伙) | 3240.90 | 18.38 | 不变 | 0.00 |
| 2 | 苏州英镭企业管理合伙企业(有限合伙) | 2613.00 | 14.82 | 不变 | 0.00 |
| 3 | 长春长光精密仪器集团有限公司 | 1153.10 | 6.54 | 不变 | 0.00 |
| 4 | 国投(上海)创业投资管理有限公司-国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙) | 1041.99 | 5.91 | 不变 | 0.00 |
| 5 | 伊犁苏新投资基金合伙企业(有限合伙) | 861.24 | 4.89 | 不变 | 0.00 |
| 6 | 哈勃科技创业投资有限公司 | 658.45 | 3.74 | 不变 | 0.00 |
| 7 | 武汉达润投资管理有限公司-宁波璞玉股权投资合伙企业(有限合伙) | 613.88 | 3.48 | 不变 | 0.00 |
| 8 | 全国社保基金一一四组合 | 232.28 | 1.32 | 不变 | 0.00 |
| 9 | 国投创业投资管理有限公司-国投(宁波)科技成果转化创业投资基金合伙企业(有限合伙) | 178.08 | 1.01 | 不变 | 0.00 |
| 10 | 国泰君安证券股份有限公司-国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 136.80 | 0.78 | 新进 | 136.80 |